技術(shù)編號(hào)：6986312
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，更詳細(xì)涉及用于對(duì)搬送到曝光裝置的基板進(jìn)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)的。背景技術(shù)圖9是表示將玻璃基板曝光時(shí)的步驟的一例。首先，洗凈的玻璃基板由涂料器 101被涂敷上抗蝕劑，在搬送過程中由熱板102 (HP)加溫而使抗蝕劑干燥之后，由冷凝板 103 (CP)消除余熱。然后，由搬送用機(jī)器人104搬送到精密溫度調(diào)整裝置105，以對(duì)基板進(jìn)行冷卻調(diào)溫。接著，由搬送用機(jī)器人106將基板搬送到異物檢查機(jī)107，并檢查是否存在異物。再接著，由搬送用機(jī)器人106將不存在異物的基板搬送...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。