技術(shù)編號(hào)：6985001
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明設(shè)計(jì)提高用于電子器件，尤其是功率電子器件中的半導(dǎo)體材料的質(zhì)量和所需特性。特別地，本發(fā)明設(shè)計(jì)用于使碳化硅中晶體缺陷最小化的改善工藝，以及所得的改善的結(jié)構(gòu)和器件。背景技術(shù) 術(shù)語“半導(dǎo)體”指的是電子特性介于那些稱為導(dǎo)體的材料——例如金屬——和那些在任何合理情況下都幾乎不傳導(dǎo)電流的通常稱為絕緣體的材料之間的材料。半導(dǎo)體材料幾乎永遠(yuǎn)是固體材料，因而它們?cè)陔娮悠骷械氖褂脤?dǎo)致了使用術(shù)語“固態(tài)”來一般性描述半導(dǎo)體制成的、而不是由更早的技術(shù)——例如真空管——制成電子...
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