技術(shù)編號：6978513
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及半導體制造裝置，尤其涉及一種晶舟。 背景技術(shù)通常來說，在半導體集成電路的生產(chǎn)制造過程中，為確保半導體晶片的安全儲存、 搬移，避免破損和污染，廣泛運用晶舟作為晶片的承載及運輸工具。關(guān)于現(xiàn)有的晶舟，請參考圖IA至圖1C，其中，圖IA為現(xiàn)有的晶舟的正視圖，圖IB 為圖IA沿A-A方向的剖視圖，圖IC為圖IA示意的現(xiàn)有的晶舟裝有晶片后沿A-A方向的剖 視圖，如圖IA至圖IC所示，現(xiàn)有的晶舟包括盒體101，所述盒體101兩側(cè)設(shè)置有相對的擋板 102，晶...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。