技術(shù)編號(hào)：6975418
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶片制備，特別是關(guān)于利用空間及處理效率高的旋轉(zhuǎn)、清洗、及干燥(SRD)模組以進(jìn)行半導(dǎo)體基板的清潔及干燥。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體裝置的制造中執(zhí)行晶片制備及清潔操作。在基板制備期間的一反復(fù)重覆的常見晶片制備操作是使用旋轉(zhuǎn)、清洗、及干燥(SRD)模組以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)清洗及干燥操作。典型地，在安裝于SRD箱上的碗狀部中執(zhí)行旋轉(zhuǎn)、清洗、及干燥操作，而其依序固定至轉(zhuǎn)軸。典型地，馬達(dá)將使轉(zhuǎn)軸、安裝在轉(zhuǎn)軸上的夾頭、及藉由裝設(shè)至夾頭的轉(zhuǎn)軸指部而夾持的晶片旋轉(zhuǎn)。通常...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。