技術(shù)編號：6956418
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體元件，且特別涉及包括金屬柵極的。 背景技術(shù)半導體集成電路(integrated circuit, IC)工業(yè)已經(jīng)歷了快速的成長。集成電路 的材料與設(shè)計的技術(shù)進步已產(chǎn)生了許多集成電路世代，且每一個新世代皆較先前的世代擁 有更小且更復雜的電路。然而，這也代表集成電路工藝的復雜度越來越高，因此集成電路工 藝也需要取得同樣的進展才能實現(xiàn)新世代的集成電路。在集成電路發(fā)展的期間內(nèi)，當幾何尺寸(例如以一工藝制作的最小組件或線)縮 小時，功能密度(func...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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