技術(shù)編號：6955203
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種二極管芯片的制造方法，特別是指一種在溝槽中形成切割道，利 用切割道對基板進行切割的溝槽式二極管芯片制造方法。背景技術(shù)二極管亦稱為半導體二極管，是一種由半導體材料制成的，具有單向?qū)щ娞匦?的器件。二極管的核心器件是二極管芯片，芯片經(jīng)過封裝形成各種外觀尺寸的二極管產(chǎn)品?，F(xiàn)有的二極管芯片的一種制造方法如下一種常用二極管芯片基板10(參考圖2A)，根據(jù)二極管芯片的位置，在其上蝕刻出縱向與 橫向垂直交錯的復數(shù)溝槽101 (參考圖2B)，為了保護該溝槽1...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。