技術編號：6953613
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體，具體來說，涉及。 背景技術隨著半導體結構的臨界尺寸越來越小，由于結構及性能上的特殊性，納米線在半導體結構方面的應用前景得以顯現(xiàn)，使其成為當前國際前沿的研究熱點。特別地，在 VLSI (超大規(guī)模集成電路)領域，由于納米線具有高度比例縮小的特性以及短溝道控制特性，而被高度重視。但是，目前，制得的各所述納米線都是直接形成于半導體基底上，使得對所述半導體基底的利用相對有限，為更好地應用納米線利于縮小比例的特性，如果除了形成于半導體基底上的納米線之...
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