技術(shù)編號：6952847
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種金屬突出物，特別涉及一種伸入取代柵極的接觸孔金屬。 背景技術(shù)集成電路(IC)工業(yè)已歷經(jīng)快速的成長。集成電路(IC)材料和設(shè)計的技術(shù)發(fā)展已使每一個集成電路世代的電路較前一個世代小且更復(fù)雜。然而，這些發(fā)展會增加集成電路工藝和制造方法的復(fù)雜度，且為了實現(xiàn)這些技術(shù)發(fā)展，需要發(fā)展較簡單的集成電路工藝和制造方法。在集成電路發(fā)展的過程中，當(dāng)幾何尺寸(意即可利用一工藝制造的最小元件(或線寬))縮小時，通常會增加功能密度(functional density)...
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