技術(shù)編號：6951721
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，更具體地說，涉及一種用于高架交叉系統(tǒng)運輸 的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造設(shè)備中，天車(0HS，或軌道車)系統(tǒng)或高架提升傳輸(0ΗΤ， overhead hoist transport)系統(tǒng)被廣泛用于自動化地進行晶片傳輸處理。OHS是適合于遠 距離加工中心間(intertay)運輸?shù)膫鬏敊C構(gòu)，而OHT適合于近距離加工中心內(nèi)(intrabay) 運輸。基于調(diào)度需求并通過自動化物料搬運系統(tǒng)(AMHS)的指令，儲料器在晶片載體...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。