技術(shù)編號:6950833
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路,尤其涉及一種可有效降低器件尺寸的LDMOS ESD結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)隨著集成電路制造工藝水平進入集成電路線寬的深亞微米時代,CMOS工藝特征尺寸不斷縮小,晶體管對于高電壓和大電流的承受能力不斷降低,深亞微米CMOS集成電路更容易遭受到靜電沖擊而失效,從而造成產(chǎn)品的可靠性下降。靜電在芯片的制造、封裝、測試和使用過程中無處不在,積累的靜電荷以幾安培或幾十安培的電流在納秒到微秒的時間里釋放,瞬間功率高達(dá)幾百千瓦,放電能量可達(dá)毫焦耳,對芯片的摧毀強...
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