技術編號：6948146
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種多晶硅濕刻機的抽風蓋板。 背景技術多晶硅太陽能電池片的濕刻生產(chǎn)一般采用多晶硅濕刻機，多晶硅濕刻機內(nèi)具有藥液池，藥液池的上方設置有抽風蓋板，濕刻機一般可允許5道上料，即5片多晶硅片同時在藥液上漂過，硅片只有下表面及側(cè)面接觸到藥液，上表面由于是擴散面，擴散后產(chǎn)生方塊電阻，故藥液不漫過上表面，這種濕刻技術俗稱水上漂技術，硅片與藥液反應時會釋放出氣體與酸氣，氣體與酸氣經(jīng)抽風蓋板被抽風裝置吸走，現(xiàn)有的多晶硅濕刻機的抽風蓋板，一般在本體縱向方向上開設...
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