技術(shù)編號：6943672
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體及其制造，尤其涉及一種體區(qū)接觸的SOI晶體管結(jié)構(gòu) 及制備方法。背景技術(shù)近年來，以硅集成電路為核心的微電子技術(shù)得到了迅速的發(fā)展，集成電路芯片的 發(fā)展基本上遵循摩爾定律，即半導(dǎo)體芯片的集成度以每18個月翻一番的速度增長?？墒请S 著半導(dǎo)體芯片集成度的不斷增加，MOS晶體管的溝道長度也在不斷的縮短，當(dāng)MOS晶體管的 溝道長度變得非常短時，短溝道效應(yīng)會使半導(dǎo)體芯片性能劣化，甚至無法正常工作。傳統(tǒng)的 硅集成電路芯片一般制作在體硅上。以絕緣體上的硅(SO...
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