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一種集成電路及其中的電容的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6942490

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本發(fā)明涉及集成電路設(shè)計及制造工藝,具體涉及一種電容。 背景技術(shù)在集成電路設(shè)計制造領(lǐng)域,電路當(dāng)中會經(jīng)常使用到電容。隨著集成電路加工制造技術(shù)的發(fā)展,集成電路中器件尺寸日益縮小,相應(yīng)的加工精度和電路器件的集成度也越來越高。尤其對于高精度的模擬集成電路,電容匹配程度的要求往往更高。在集成電路設(shè)計制造領(lǐng)域,由于電路器件都是在晶圓上加工制造的,因此在電路設(shè)計階段就必須為各電路器件之間的連接線預(yù)留空間和位置。對于集成電路中常見的場效應(yīng)管等器件,由于其工作性能較少受到周邊...
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