技術(shù)編號：6940321
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于硅片加工，尤其是涉及一種鑒別硅片主參考l^位 置是否正確的方法。背景技術(shù)在微電子領(lǐng)域的硅片加工和器件生產(chǎn)過程中，參考面起到識別和定位 的作用，它是硅片劃分芯片的基準(zhǔn)面，因此，參考面是硅片標(biāo)準(zhǔn)化的重要 內(nèi)容之一。我們知道，器件生產(chǎn)首先是要在硅片表面上制造出若干個分離 管芯或電路，然后采用劃片分割的方式把管芯或電路分割成獨(dú)立單元，再 把這些獨(dú)立單元裝上支架，壓上引線、封裝在管殼內(nèi)而制成器件。由于硅 晶體具有各向異性的特點(diǎn)，閔此劃片時應(yīng)選擇最佳的劃片分...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。