技術(shù)編號(hào):6939457
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及真空裝置和基板處理裝置,特別涉及氣密地密封真空裝置的內(nèi)部的密封部。 背景技術(shù)在以液晶顯示器(LCD)為代表的平板顯示器(FPD)的制造過(guò)程中,對(duì)FPD用基板 進(jìn)行蝕刻或成膜等的規(guī)定處理。作為實(shí)施這樣的處理的基板處理裝置,已知有具備多個(gè)處 理室的多腔室類型的基板處理裝置(例如,專利文獻(xiàn)1)。 多腔室類型的基板處理裝置具有搬送室,該搬送室設(shè)置有搬送FPD用基板(被處 理基板)的搬送裝置,在該搬送室的周圍具有處理室、交換未處理的基板和處理后的基板 的負(fù)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。