技術(shù)編號：6935746
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件，更具體地，涉及一種半導(dǎo)體器件 以及利用金屬4匕工藝(metallization process)制造該半導(dǎo)體器4牛的 方法。背景技術(shù)隨著器件由于技術(shù)的發(fā)展而在尺寸上日益減小，在加工期間使 用諸如鋁(Al)的金屬可能會引起許多問題。 一些更嚴(yán)重的問題包 4舌前端工藝(front-end process) #月間的4豆溝道#文應(yīng)(short-channel effect)和后端工藝(Back-End-Of-the-Line ) ( B...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。