技術(shù)編號：6935235
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是關(guān)于一種基板處理設(shè)備，特別是關(guān)于支撐基板用的基板支撐 框架，以及包括該框架的基板處理設(shè)備及使用該框架來承載及卸載基板的 方法。背景技術(shù)因應(yīng)化石燃料的耗盡及防止環(huán)境污染，焦點已聚集在如太陽能的潔凈 能源。特別是，用以將太陽能轉(zhuǎn)換成電能的太陽能電池已迅速發(fā)展。在太陽能電池中，其可以是硅晶圓或玻璃基板上的PN(正負型)接合二 極管或PIN(正型-本質(zhì)-負型)二極管的非結(jié)晶硅薄膜，受太陽能激發(fā)的少數(shù) 載子會擴散穿過PN接合面，且電動勢會由PN接合二極管的兩...
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