技術(shù)編號：6935102
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種集成電路，更具體地，涉及一種密封環(huán)的結(jié)構(gòu)及形成方法。 背景技術(shù)密封環(huán)的形成是半導(dǎo)體后端工藝中一個重要的組成部分。密封環(huán)是一種圍 繞集成電路的應(yīng)力保護(hù)結(jié)構(gòu)，該應(yīng)力保護(hù)結(jié)構(gòu)保護(hù)半導(dǎo)體芯片內(nèi)的內(nèi)部電路免 受由晶片切割為半導(dǎo)體芯片而引起的損壞。典型的密封環(huán)通常由互連的金屬線和連接通孔形成。圖1是密封環(huán)10的 一部分的示意圖，該部分形成在劃片線(scribe line;或者稱為劃片槽)12的 內(nèi)側(cè)上，劃片線12有時也稱作切割線(dicing line)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。