技術(shù)編號：6933466
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，更詳細地涉 及具有能獨立移動于預(yù)定一軸方向之兩個移動體的移動體系統(tǒng)、具備 該移動體系統(tǒng)之曝光裝置及使用該曝光裝置來將組件圖案轉(zhuǎn)印至基板 的組件制造方法。背景技術(shù)以往，用以制造半導(dǎo)體組件(集成電路等)、液晶顯示組件等之電 子組件的光刻步驟，主要系使用步進重復(fù)方式之縮小投影膝光裝置(即 所謂步進器)或步進掃描方式之投影爆光裝置(即所謂掃描步進器(稱掃 描儀))等，其系透過光學系統(tǒng)，將掩模(或標線片)之圖案分別轉(zhuǎn)印至涂 布有抗蝕劑(感光劑)之晶片或玻...
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