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技術(shù)編號：6932751

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本發(fā)明涉及氧化鋅薄膜的熱處理。背景技術(shù)氧化鋅(ZnO)應(yīng)用于薄膜太陽能電池(thin film solar cell)、薄膜晶體管液 晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display; TFT LCD)、有才幾電激發(fā) 光(Organic Electro Luminescence; OEL)元l牛、藍(lán)色發(fā)光二才及管(Light Emitting Diode; LED)和激光二極管(Laser Diode; LD...
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