技術(shù)編號:6926699
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明關(guān)于一種,尤指一種可有效抑制通道效應 (channeling effect)的。背景技術(shù)金屬氧化物半導體場效晶體管(Metal-Oxide-Semiconductor Field-EffectTransistor,以下簡稱為M0SFET)為半導體中普遍用來執(zhí)行集成電 路所需功能的典型元件。請參閱圖l,圖1為一習知的M0SFET的剖面示意圖。簡單地說, MOSFET的制作于基底IOO上形成一介電層102與一未摻雜的多晶硅(polysilicon)層 1...
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