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用于功率器件的超結(jié)結(jié)構(gòu)及制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6924998

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本發(fā)明通常涉及半導(dǎo)體技術(shù),尤其涉及改進(jìn)的功率半導(dǎo)體器件(例如,晶體管和 二極管)的各種實(shí)施方式及其制造方法。背景技術(shù)功率電子應(yīng)用中的關(guān)鍵部件是固態(tài)開關(guān)。從車輛應(yīng)用中的點(diǎn)火控制到電池供電的 消費(fèi)者電子器件,到工業(yè)應(yīng)用中的功率變流器,需要最佳地符合特定應(yīng)用的要求的功率開 關(guān)。固態(tài)開關(guān)包括,例如,功率金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管(功率M0SFET)、絕緣柵雙 極晶體管(IGBT)和各種類型的繼續(xù)發(fā)展成符合此要求的半導(dǎo)體閘流管。在功率MOSFET的 情況中,與許多...
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