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一種半導(dǎo)體整流器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6908080

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本實用新型涉及功率半導(dǎo)體MOS器件,特別涉及一種半導(dǎo)體整流器件。 這種MOS器件保留了肖特基勢壘整流二極管的優(yōu)點,同時具有正向快速導(dǎo) 通,反向漏電4氐,導(dǎo)通電壓Vf可由離子注入劑量調(diào)節(jié)等特點。另外,該器件 不需要勢壘貴金屬,可以采用標準CMOS硅工藝制作,因此器件的可靠性較 高而成本可以大大降低。技術(shù)背景肖特基勢壘整流二極管是以貴金屬(如金、銀、鉑、鈦、鎳、鉬等)A為 正極,N型半導(dǎo)體B為負極,在二者接觸面上形成具有整流特性的異質(zhì)結(jié)勢 壘而制成的一種半導(dǎo)體...
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