技術(shù)編號(hào)：6904162
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及基板位置偏離檢測(cè)系統(tǒng)，特別是涉及用光學(xué)方法檢測(cè) 基板的位置偏離的基板位置偏離檢測(cè)系統(tǒng)。背景技術(shù)通常，對(duì)作為基板的半導(dǎo)體晶片(下面稱為"晶片")實(shí)施處理的 基板處理系統(tǒng)，為了更有效地對(duì)多枚晶片實(shí)施處理，包括對(duì)晶片實(shí)施 處理的處理裝置、和從以整齊排列的狀態(tài)收容多枚晶片的容器中將晶 片搬送到處理裝置中的搬送裝置。容器是具有能夠搬入搬出晶片的開(kāi)口部的箱體，在內(nèi)部具有多個(gè) 槽縫，該槽縫是相對(duì)于配置有開(kāi)口部的面垂直地能夠收容晶片的保持 晶片的周邊部的溝槽狀的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。