技術(shù)編號(hào)：6901021
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及薄膜晶體管、及至少將薄膜晶體管用于像素部的顯示 裝置、和其制造方法。背景技術(shù)近年來(lái)，通過(guò)利用形成在具有絕緣表面的襯底上的半導(dǎo)體薄膜(厚度大約為幾十nm至幾百nm)來(lái)構(gòu)成薄膜晶體管的技術(shù)引人注 目。薄膜晶體管廣泛地應(yīng)用于電子裝置如IC或電光裝置，尤其是作 為顯示裝置的開(kāi)關(guān)元件，正在積極地進(jìn)行研究開(kāi)發(fā)。作為顯示裝置的開(kāi)關(guān)元件，使用利用非晶半導(dǎo)體膜的薄膜晶體 管、利用多晶半導(dǎo)體膜的薄膜晶體管等。作為多晶半導(dǎo)體膜的形成方 法，已知通過(guò)使用光學(xué)系統(tǒng)將脈沖振...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。