技術(shù)編號：6894467
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及基板吸附裝置和基板搬送裝置，更詳細(xì)地說，涉及即 使是存在彎曲、翹曲的半導(dǎo)體晶片等薄基板也能夠可靠地吸附、保持 的基板吸附裝置和基板搬送裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有的這種基板搬送裝置裝配在半導(dǎo)體晶片等基板的處理裝置 上。因此，作為處理裝置以半導(dǎo)體晶片的檢查裝置為例進行說明。這種檢查裝置具有進行半導(dǎo)體晶片的電氣特性檢查的探測針(probe)室， 和與探測針室鄰接的裝載(loader)室。探測針室具備載置半導(dǎo)體晶 片的可移動的載置臺；配置在載置臺的上方的探測針卡...
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