技術(shù)編號：6893192
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造工藝，特別涉及一種半導(dǎo)體制造鋁金屬線制程。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造金屬化過程中，用鋁金屬做后道連線，如在O. 13um制程中，由于設(shè) 計(jì)規(guī)則的縮小，鋁金屬線之間的space(間距)較小，較高的操作電壓會增加鋁等金屬線之 間的擊穿幾率，目前的半導(dǎo)體制造鋁金屬線制程，如圖1所示，包括以下步驟 1.淀積鋁金屬薄膜； 2.刻蝕所述鋁金屬薄膜； 3. PECVD (等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣象淀積)淀積IMD (Inter-MetalDielectric...
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