技術編號:6888683
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明,涉及半導體裝置及其制造方法,以及具有這個半導體裝置的顯示裝置。背景技術做為半導體裝置,薄膜晶體管(TFT-Thin-Film Transistor)已為所 知,這個薄膜晶體管(TFT)適合于驅(qū)動液晶顯示裝置或有機EL顯示 裝置等的顯示裝置而為使用。 特別是,溝道區(qū)域只由非晶硅(a-Si)等的非晶膜形成的非晶硅薄 膜晶體管(a-SiTFT)使用的最為普遍。在此,所謂的溝道高型薄膜晶 體管(以前結(jié)構(gòu)1),參照放大剖面圖的附圖說明圖17說明。薄膜晶體管...
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