技術(shù)編號(hào)：6888259
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及例如具備對(duì)被處理基板進(jìn)行規(guī)定處理的 一個(gè)以上制造裝 置、和與該一個(gè)以上制造裝置連接的服務(wù)器裝置的群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝 置等。背景技術(shù)目前為止，已知有可以對(duì)從測(cè)定器送來(lái)的數(shù)據(jù)自動(dòng)并且正確地進(jìn)行加 工的半導(dǎo)體制造裝置的群管理系統(tǒng)的測(cè)定數(shù)據(jù)加工方法(例如參照專利文 獻(xiàn)l)。本測(cè)定數(shù)據(jù)加工方法中，在群管理系統(tǒng)的群管理部的測(cè)定器通信部 中，接收測(cè)定器所送來(lái)的各種測(cè)定數(shù)據(jù)。此外，預(yù)先登記有加工所述測(cè)定 數(shù)據(jù)的計(jì)算式，在接收到所述測(cè)定數(shù)據(jù)時(shí)，將所述測(cè)定數(shù)據(jù)^到...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。