專利名稱：服務(wù)器裝置及程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如具備對被處理基板進行規(guī)定處理的 一個以上制造裝 置、和與該一個以上制造裝置連接的服務(wù)器裝置的群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝 置等。
背景技術(shù)：
目前為止，已知有可以對從測定器送來的數(shù)據(jù)自動并且正確地進行加 工的半導(dǎo)體制造裝置的群管理系統(tǒng)的測定數(shù)據(jù)加工方法(例如參照專利文 獻l)。本測定數(shù)據(jù)加工方法中，在群管理系統(tǒng)的群管理部的測定器通信部 中，接收測定器所送來的各種測定數(shù)據(jù)。此外，預(yù)先登記有加工所述測定 數(shù)據(jù)的計算式，在接收到所述測定數(shù)據(jù)時，將所述測定數(shù)據(jù)^到測定數(shù)
據(jù)接收緩沖器中，并且基于所述測定數(shù)據(jù)所具有的配方(recipe)名稱， 從所登記的所述計算式中選擇適于加工所述測定數(shù)據(jù)的至少 一個具有相 同配方名稱的計算式并保存到計算式保存緩沖器中，將所保存的所述測定 數(shù)據(jù)應(yīng)用于所選擇的所述計算式來進行計算，將計算結(jié)果儲存于加工完畢 數(shù)據(jù)保存緩沖器中。
另外，以往的半導(dǎo)體制造裝置的群管理系統(tǒng)具有顯示由半導(dǎo)體制造裝 置測定的時間序列的信息(以下記作圖表(chart))的功能。
另外，作為構(gòu)成群管理系統(tǒng)的制造裝置，有所謂的批處理式縱型熱處 理裝置(參照專利文獻2、專利文獻3)。
通常來說，在半導(dǎo)體制造裝置中，依照被稱作配方的包含制造參數(shù) 等的表示處理過程和處理條件的信息，來執(zhí)行制造工藝。構(gòu)成配方的序 列的各過程被稱作配方步驟，或者筒稱為步驟。半導(dǎo)體制造裝置的異常 等可以根據(jù)在變更了配方步驟之時，是否進行與該配方步驟的參數(shù)對應(yīng) 的控制來判斷。由此，通過在配方步驟被執(zhí)行的期間內(nèi)，取得并監(jiān)視利 用測定器取得的全部測定數(shù)據(jù)，可以知道半導(dǎo)體制造裝置的異常等。
專利文獻l:日本特開平11-354395號公報(第一頁、第一圖等) 專利文獻2:日本專利3543996號公報(第一頁、第一圖等)專利文獻3:日本特開2002-25997號公報(第一頁、第一圖等)
但是，以往無法恰當(dāng)?shù)刂付ūO(jiān)視對象的期間，因而存在有時還會監(jiān) 視本來不想監(jiān)視的期間以外的半導(dǎo)體制造裝置的狀態(tài)等的問題。
例如，以往能夠以配方步驟為單位來讀出測定數(shù)據(jù)，并監(jiān)視測定數(shù) 據(jù)。但是，此時，即使在想要監(jiān)視從某個配方步驟開始時起到經(jīng)過規(guī)定 時間為止的數(shù)據(jù)的情況下，也會取得、分析該配方步驟內(nèi)的所有測定數(shù) 據(jù)，使得增加不需要的數(shù)據(jù)量，監(jiān)視的處理花費時間。
另外，以往，可以指定用于指定開始時和結(jié)束時的測定值的值，在 測定值達到了各個所指定的值的情況下，開始測定、結(jié)束測定。但是， 即使在此種情況下，由于無法監(jiān)視從測定值達到了所指定的值的時間點 起到經(jīng)過規(guī)定時間為止的數(shù)據(jù)，因此就會取得、分析不需要的數(shù)據(jù)，使 得監(jiān)視的處理花費時間。
另外，在將所監(jiān)視的測定值圖表化來輸出之際，如果如上所述在監(jiān) 視中含有不需要的測定值等，則由于還包含并非監(jiān)視對象的部分在內(nèi)的 所有部分都被圖表化，因此在實際上想要監(jiān)視的期間，例如到經(jīng)過規(guī)定 時間為止的期間中所得到的測定值等就被顯示得較小，或難以找到，在 用戶通過目視等進行監(jiān)視之際，難以詳細地進行監(jiān)視。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的服務(wù)器裝置是構(gòu)成群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置，該群管理系統(tǒng) 具備對被處理141進行規(guī)定處理的一個以上制造裝置、和與該一個以上制 造裝置連接的服務(wù)器裝置，并具有進行異常檢測的功能，該服務(wù)器裝置具 備測定信息保存部，其可保存多個測定信息，該測定信息是由所述一個 以上制造裝置測定的信息的時間序列的信息，是具有由所述制造裝置執(zhí)行 了規(guī)定處理時的測定值和表示時刻的時刻信息的信息；指示接收部，其接 收所述測定信息的輸出指示，該輸出指示包括確定規(guī)^點的信息和作為 取得所述測定信息的時間的有效時間的信息；測定信息取得部，其從所述 測定信息保存部中取得從所述規(guī)定起點起在所述有效時間的信息所表示 的時間內(nèi)的測定信息；輸出信息構(gòu)成部，其構(gòu)成使用了所取得的所述測定 信息的輸出信息；以及輸出部，其輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的輸出 信息。利用該構(gòu)成，可以比例如配方步驟單位更為詳細地指定輸出測定信息 的期間。這樣，就不需要監(jiān)視不需要的測定信息，可以有效地監(jiān)視制造裝 置。另外，由于不僅設(shè)定配方步驟單位，而且還設(shè)定有效時間，從而可以 更為嚴密地設(shè)定監(jiān)視對象區(qū)間，因此可以更為嚴密地監(jiān)，管理系統(tǒng)的動 態(tài)特性。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，所述輸出信息構(gòu)成部使用所取得的所述測定信息來構(gòu)成作為輸出 信息的圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的圖表。
利用該構(gòu)成，由于可以使用圖表來監(jiān)視輸出信息，因此可以容易地把 握制造裝置的狀態(tài)等。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，所述規(guī)定起點是配方所具有的規(guī)定配方步驟的開始時間點，所述 測定信息具有識別配方步驟的配方步驟標(biāo)識符，所述輸出指示包含配方步 驟標(biāo)識符、所述有效時間的信息，所述測定信息取得部取得如下測定信息， 該測定信息是與所述輸出指示所具有的配方步驟標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息， 是從利用該配方步驟標(biāo)識符識別的配方步驟的開始時間點起在所述有效 時間的信息所表示的時間內(nèi)的測定信息。
利用該構(gòu)成，可以在配方步驟內(nèi)，監(jiān)視從配方步驟開始時起到經(jīng)過有 效時間為止的期間。例如，在制造裝置中，可以監(jiān)M配方步驟的開始時 起到經(jīng)過有效時間為止的壓力的值。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，所述測定信息取得部取得到所述有效時間結(jié)束時、和利用所述配 方步驟標(biāo)識符識別的配方步驟結(jié)束時當(dāng)中的較早一方為止的測定信息。
利用該構(gòu)成，可以比配方步驟單位更為詳細地指定所監(jiān)視的期間。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，所述規(guī)^點是符合與測定信息相關(guān)的條件的時間點，所述輸出 指示包含與測定信息相關(guān)的條件、所述有效時間的信息，所述測定信息取
得部具備第一測定信息取得機構(gòu)，其取得最先符合所述與測定信息相關(guān) 的條件的測定信息；以及有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)，其取得從所述第 一測定信息取得M取得了最初的測定信息的時間點起、在所述有效時間內(nèi)的測定信息。
利用該構(gòu)成，可以監(jiān)M滿足了與測定信息相關(guān)的條件的時間點起到 經(jīng)過有效時間為止的期間。例如，在制造裝置中，在有進行減壓的序列的 情況下，可以對從達到作為與測定信息相關(guān)的條件的目標(biāo)壓力后經(jīng)過有效 時間為止的壓力值進行監(jiān)視等。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，測定信息取得部取得到所述有效時間結(jié)束時、和有效時間內(nèi)測定 信息取得機構(gòu)所取得的測定信息不滿足所述與測定信息相關(guān)的條件時當(dāng) 中的較早一方為止的測定信息。利用該構(gòu)成，能夠恰當(dāng)?shù)刂付ńY(jié)束監(jiān)視所需的測定信息的取得的期 間，可以有效地監(jiān)視制造裝置。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù) 器裝置中，所述規(guī)定起點是符合配方所具有的規(guī)定配方步驟內(nèi)的與測定 信息相關(guān)的條件的時間點，所述測定信息具有識別配方步驟的配方步驟標(biāo) 識符，所述輸出指示包含配方步驟標(biāo)識符、與測定信息相關(guān)的條件、所述
有效時間的信息，所述測定信息取得部具備第一測定信息取得機構(gòu)，其 取得以下測定信息，該測定信息是對應(yīng)于所述輸出指示所具有的配方步驟 標(biāo)識符的測定信息，最先符合所述與測定信息相關(guān)的條件的測定信息；以 及有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)，其取得從所述第一測定信息取得;IM^取 得了最初的測定信息的時間點起、在所述有效時間的信息所表示的時間內(nèi) 的測定信息。
利用該構(gòu)成，可以在配方步驟內(nèi)，監(jiān)視從滿足了與測定信息相關(guān)的 條件的時間點起到經(jīng)過有效時間為止的期間。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，所述有效時間內(nèi)測定信息取得^取得到所述有效時間結(jié)束時、 利用所述配方步驟標(biāo)識符識別的配方步驟結(jié)束時、和所取得的測定信息不 滿足與所述測定值相關(guān)的條件時當(dāng)中的較早一方為止的測定信息。
利用該構(gòu)成，可以在配方步驟內(nèi)，恰當(dāng)?shù)刂付ㄈ〉帽O(jiān)視所需的測定 信息的期間的結(jié)束時刻，可以有效地監(jiān)視制造裝置。另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，所述輸出信息構(gòu)成部使用所取得的所述測定信息進行規(guī)定運算， 構(gòu)成使用了該運算結(jié)果的輸出信息。
利用該構(gòu)成，可以將測定信息加工為與目的相符的數(shù)據(jù)并輸出，從而 容易監(jiān)視。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器
裝置中，還具備條件信息保存部，其能夠*表示用于判斷所述測定信 息是否異常的條件的條件信息；以及異常檢測部，其判斷所述測定信息取 得部所取得的測定信息是否符合所述條件信息保存部所保存的條件信息； 所述輸出信息構(gòu)成部構(gòu)成使用了所述異常檢測部的判斷結(jié)果的輸出信息。
利用該構(gòu)成，可以容易地認識到制造裝置產(chǎn)生了異常。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，所述輸出信息構(gòu)成部將所取得的所述測定信息構(gòu)成spc圖表，該 spc圖表是依照該測定信息所具有的時刻信息所表示的時刻的順序繪制 的圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的spc圖表。
利用該構(gòu)成，可以容易地進行制造裝置的經(jīng)時變化和波動監(jiān)視。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，所述輸出信息構(gòu)成部利用所取得的所述測定信息來構(gòu)成作為表示 兩種測定信息的相關(guān)的圖表的相關(guān)圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu) 成部所構(gòu)成的相關(guān)圖表。
利用該構(gòu)成，可以監(jiān)視兩個變量的相關(guān)關(guān)系，可以有效地進行異常檢測。
另外，本發(fā)明的服務(wù)器裝置是如下的服務(wù)器裝置，即，在所述服務(wù)器 裝置中，所述輸出信息構(gòu)成部利用所取得的所述測定信息來構(gòu)成作為表示
三種以上的測定信息的相關(guān)的圖表的md圖表，所述輸出部輸出所述輸出 信息構(gòu)成部所構(gòu)成的md圖表。
利用該構(gòu)成，可以監(jiān)視多變量的相關(guān)關(guān)系，可以更為有效地進行異常 檢測。根據(jù)本發(fā)明的服務(wù)器裝置等，可以恰當(dāng)?shù)刂付ㄝ敵鰷y定信息的期間。


圖l是表示實施方式的群管理系統(tǒng)的概念圖的圖。
圖2是表示該群管理系統(tǒng)的制造裝置的具體例的圖。 圖3是該群管理系統(tǒng)的框圖。
圖4是對該群管理系統(tǒng)的制造裝置的動作進行說明的流程圖。 圖5是對該群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置的動作進行說明的流程圖。 圖6是說明該群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置的檢索處理的流程圖。 圖7是表示該群管理系統(tǒng)的測定信息的構(gòu)成的圖。 圖8是表示該群管理系統(tǒng)的初始信息管理表的圖。 圖9是表示該群管理系統(tǒng)的測定信息管理表的圖。 圖IO是表示該群管理系統(tǒng)的顯示例的圖。
圖11是表示該群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置的測定信息取得部所取得 的測定信息的圖。
圖12是表示該群管理系統(tǒng)的顯示例的圖。
圖13是表示該群管理系統(tǒng)的顯示例的圖。
圖14是表示該群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置的測定信息取得部所取得 的測定信息的圖。
圖15是表示該群管理系統(tǒng)的顯示例的圖。
圖16是表示該群管理系統(tǒng)的顯示例的圖。
圖17是表示該群管理系統(tǒng)的顯示例的圖。
圖18是表示該群管理系統(tǒng)的顯示例的圖。圖19是表示該群管理系統(tǒng)的顯示例的圖。
具體實施例方式
以下，將參照附圖對服務(wù)器裝置等的實施方式進行說明。而且，由 于在實施方式中使用了相同符號的構(gòu)成要素進行相同的動作，因此有時 省略再次的^L明。
(實施方式)
圖l是本實施方式的群管理系統(tǒng)的概念圖。群管理系統(tǒng)是例如管理 半導(dǎo)體制造裝置、液晶面板制造裝置等制造裝置的系統(tǒng)。另外，群管理 系統(tǒng)具有一個以上的制造裝置11 (從制造裝置lla到制造裝置lln (其 中n表示任意數(shù)))、服務(wù)器裝置12及客戶裝置13。
制造裝置11 ^!對被處理基敗、例如半導(dǎo)體晶片等進行規(guī)定處理的裝 置。制造裝置11例如進行成膜處理、蝕刻處理、熱氧化處理等針對被處理 基板的各種處理。制造裝置11例如為上述的專利文獻2或?qū)＠墨I3等中 的批處理式縱型熱處理裝置。將本制造裝置11的例子表示于圖2中。本制 造裝置11是作為裝載室被制成了所謂裝載互鎖室(load-lock )結(jié)構(gòu)的裝置， 該裝載室可以相對于其他室密閉，能夠進行作為惰性氣氛的N2氣的供給、 抽真空。制造裝置11由如下部分構(gòu)成主要部作為處理室的處理管a，其 對作為被處理體的晶片W實施規(guī)定處理；作為裝載室的裝載互鎖室h，其 具備移送機構(gòu)g，該移送機構(gòu)g對該處理管a插入取出收納了多片、例如 100片晶片W的作為保持體的晶片舟f; ^A搬出室ab，其相對于該裝載 互鎖室h ^搬出晶片W;形成于該^搬出室ab上的料盒收容容器用 口 ac;取入機構(gòu)ae，其將放置于該口 ac中的料盒收容容器ad取入^V搬 出室ab內(nèi)；容器保管載臺af，其臨時保管所取入的料盒收容容器ad;料 盒取出載臺ag，其將收容于料盒收容容器ad內(nèi)的料盒C取出；容器轉(zhuǎn)裝 機構(gòu)ah,其在^A搬出室ab內(nèi)進行料盒收容容器ad的轉(zhuǎn)交；以及保持體 收容室ai，其配置于裝載互鎖室h與l^搬出室ab之間，收容晶片舟f。 對于圖2的制造裝置11的例子中的其他部位及動作，由于是公知技術(shù)(參 照專利文獻2)，因此省略詳細的i兌明。另外，作為構(gòu)成制造裝置ll的腔 室(chamber),優(yōu)選專利文獻3的圖1中的腔室。
另外，制造裝置11例如保存有配方，該配方是與對晶片的規(guī)定處理相關(guān)的信息，使用該配方進行控制。
另外，服務(wù)器裝置12是構(gòu)成所謂的群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置，可以 保存一個以上的制造裝置11的各種測定信息，具有對該測定信息進行異常 檢測的功能。
另外，客戶裝置13對服務(wù)器裝置12輸出各種要求，接似艮務(wù)器裝置 12的處理結(jié)果。
圖3是本實施方式的群管理系統(tǒng)的框圖。
制造裝置ll具備輸入接收部1101、配方保存部1102、制造裝置標(biāo) 識符^M!"部1103、計時部1104、處理部1105、測定部1106、初始信息存 儲部1107、初始信息發(fā)送部1108。
服務(wù)器裝置12具備測定信息保存部1201、初始信息接收部1202、 測定信息取得部1203、測定信息存儲部1204、指示接收部1205、輸出信 息構(gòu)成部1206、輸出部1207、輸出指示存儲部1208、M信息M部1209、 異常檢測部1210。
測定信息取得部1203具備第一測定信息取^得機構(gòu)12031、有效時間 內(nèi)測定信息取得^ 12032。
客戶裝置13具備指示輸入部1301、指示發(fā)送部1302、接收部1303、 顯示部1304。
輸入接收部1101從制造裝置11的用戶處接收各種輸入。所謂各種輸 入例如是配方、識別配方的配方標(biāo)識符、對晶片的加工處理等處理的執(zhí)行 指示等。由用戶進行各種輸入的輸入機構(gòu)，無論是數(shù)字鍵、鍵盤、鼠標(biāo)還 是菜單畫面等都可以。輸入接收部1101可以利用數(shù)字鍵、鍵盤等輸入^J 的設(shè)備驅(qū)動器、菜單畫面的控制軟件等來實現(xiàn)。
配方M部1102 *有為了控制制造裝置11而使用的配方。所謂配 方是指與制造裝置11所執(zhí)行的規(guī)定處理相關(guān)的信息，例如為指定包含制造 M等的處理條件的信息。配方通常來說包含構(gòu)成工藝的多個過程、設(shè)定 該過程中的工藝M等的信息等。構(gòu)成配方的各過程通常來說被稱作配方 步驟或步驟。工藝參數(shù)的信息例如包括類別名、項目名、M名、值。所 謂類別名是指表示工藝^lt的種類的名稱，例如為"溫度"、"氣體流量"、 "舟升降機的速度"等。項目名是表示工藝^的屬性的名稱，例如為"上 下速度"、"旋轉(zhuǎn)速度，，等。參數(shù)名是工藝參數(shù)的名稱，例如為"C"、 "等。值A(chǔ)J賦予工藝參數(shù)之類的變量的值。通常來說，配方與識別配方的配 方標(biāo)識符(例如配方名)成對地保存。另外，配方與配方步驟標(biāo)識符一起
#^在配方*部1102中，該配方步驟標(biāo)識符是構(gòu)成該配方的配方步驟的 標(biāo)識符。配方步驟標(biāo)識符例如為配方步驟的名稱、識別編號等。配方M 部1102優(yōu)選非易失性的記錄^^質(zhì)，然而利用易失性的記錄^h質(zhì)也可以實 現(xiàn)。
制造裝置標(biāo)識符保存部1103保存有識別制造裝置11的制造裝置標(biāo)識 符。制造裝置標(biāo)識符只要是可以識別各制造裝置11的信息即可，例如可以 是裝置名、型號、制造編號、各制造裝置11中所設(shè)定的識別編號和名稱等。 該制造裝置標(biāo)識符既可以是輸入接收部1101所接收的信息，也可以是制造 裝置出售時預(yù)先M的信息。制造裝置標(biāo)識符保存部1103無論是硬盤、 ROM等非易失性記錄介質(zhì)，還是RAM等易失性記錄介質(zhì)都可以。
計時部1104計測時間。計時部1104將表示計測時間所得到的時刻的 信息向測定部1106輸出。這里所說的表示時刻的信息也可以包含年月日等 信息。計時部1104所計測的時間既可以是絕對時間，也可以^1相對時間。 計時部1104例如利用鐘表等來實現(xiàn)。
處理部1105讀出配方保存部1102的配方，依照該配方對被處理^i41 進行規(guī)定處理。處理部1105通常來說可以利用MPU和存儲器等來實現(xiàn)。 處理部1105的處理過程通常來說由軟件來實現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等 記錄介質(zhì)中。但是，也可以利用硬件(專用電路)來實現(xiàn)。
測定部1106測定制造裝置11內(nèi)的溫度、氣體流量、壓力、制造裝置 ll的功率等，取得初始信息，該初始信息是成為測定信息的基礎(chǔ)的信息， 該測定信息為圖表化等的對象。初始信息是所測定的溫度等信息。測定部 1106例如定期地或者以不定期的規(guī)定時間間隔進行測定。初始信息通常來 說具有表示所測定的時刻的時刻信息。該時刻信息例如由計時部1104取 得。初始信息優(yōu)選具有識別在測定部1106測定溫度等的值之時所處理的 配方的配方標(biāo)識符、所測定的值、表示所測定的時刻的時刻信息。另外， 優(yōu)選具有識別測定之時所執(zhí)行的配方步驟的配方步驟標(biāo)識符。而且，配方 標(biāo)識符、配方步驟標(biāo)識符只要是可以識別配方、配方步驟的信息即可，例 如可以利用配方的名稱、配方步驟的名稱、配方和配方步驟的識別編號等。 配方標(biāo)識符和配方步驟標(biāo)識符可以從配方保存部1102中取得。另夕卜，初始 信息也可以具有執(zhí)行了配方的制造裝置11的制造裝置標(biāo)識符。該制造裝置標(biāo)識符例如可以從制造裝置標(biāo)識符保存部1103中取J彈。另外，初始信息也 可以具有用于識別測定部1106所測定的測定對象、例如溫度和氣體壓力 等，以及測定部位、例如處理管內(nèi)等的信息，例如具有測定對象的名稱、 測定部位的名稱或者與它們對應(yīng)的識別信息等。測定部1106當(dāng)然也可以測 定多個部位的多個溫度、或溫度與氣體流量等的多個值。也就是說，初始 信息也可以具有兩種以上的測定值。測定部1106可以利用一個以上的溫度 傳感器、 一個以上的流量傳感器等傳感器等來實現(xiàn)。
初始信息存儲部1107將測定部1106所取得的初始信息存儲于未圖示 的記錄介質(zhì)中。初始信息存儲部U07通常來說可以利用MPU、存儲器等 來實現(xiàn)。初始信息存儲部1107的處理過程通常來說由軟件來實現(xiàn)，該軟件 被記錄于ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以利用硬件(專用電路)來實 現(xiàn)。另外，上述的未圖示的記錄介質(zhì)雖然優(yōu)選非易失性的記錄介質(zhì)，但是 也可以利用易失性的記錄^h質(zhì)來實現(xiàn)。
初始信息發(fā)送部1108將初始信息存儲部1107所存儲的初始信息向服 務(wù)器裝置12發(fā)送。不管發(fā)送初始信息的觸發(fā)為何均可。另夕卜，初始信息發(fā) 送部1108所發(fā)送的初始信息具有所測定的一種以上(例如溫度和氣體流 量)的值及時刻信息。另外，初始信息發(fā)送部1108所發(fā)送的初始信息優(yōu)選 具有識別配方步驟的配方步驟標(biāo)識符。除此以外，初始信息發(fā)送部1108 所發(fā)送的初始信息還優(yōu)選具有識別制造裝置11的制造裝置標(biāo)識符、識別配 方的配方標(biāo)識符。另外，也可以具有用于識別測定部1106所測定的測定對 象、例如溫度和氣體壓力等，以及測定部位、例如處理管內(nèi)等的信息。而 且，初始信息存儲部1107所存儲的初始信息、初始信息發(fā)送部1108所發(fā) 送的初始信息在其結(jié)構(gòu)或構(gòu)成方面也可以不同。另外，初始信息也可以是 如下結(jié)構(gòu)對于多個被測定的值，具有一個制造裝置標(biāo)識符、 一個配方標(biāo) 識符和一個配方步驟標(biāo)識符的至少一個。初始信息發(fā)送部1108可以利用無 線或有線的通信機構(gòu)等來實現(xiàn)。另外，初始信息發(fā)送部1108也可以在將初 始信息向服務(wù)器裝置12發(fā)送之前，從配方保存部1102和制造裝置標(biāo)識符 保存部1103中分別讀出配方步驟標(biāo)識符、配方標(biāo)識符和制造裝置標(biāo)識符， 并附加在初始信息中。另夕卜，初始信息發(fā)送部1108既可以在每次測定值(例 如氣體流量)時發(fā)送初始信息，也可以對匯總了規(guī)定數(shù)目的所測定的值的 初始信息(例如匯總了 IO個后的初始信息)進行一次性發(fā)送。不管初始信 息發(fā)送部1108所發(fā)送的數(shù)據(jù)的單位、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)等如何均可。另外，構(gòu)成所 發(fā)送的初始信息的處理也可以不是由初始信息發(fā)送部1108進行，而是由初
16始信息存儲部1107來進行。不管發(fā)送所測定的初始信息、制造裝置標(biāo)識符、 配方標(biāo)識符、配方步驟標(biāo)識符的時機等為何均可。
測定信息M部1201可以M多個測定信息。多個測定信息是如下 的信息，即，是用一個以上的制造裝置ll測定的一種以上信息(例如溫度 和壓力)的時間序列的信息，是具有用制造裝置執(zhí)行規(guī)定處理時的測定值 和表示時刻的時刻信息的信息。另外，多個測定信息也可以具有識別制造 裝置11的制造裝置標(biāo)識符、配方標(biāo)識符、配方步驟標(biāo)識符等。測定信息既 可以是測定信息取得部1203對初始信息接收部1202所接收的多個初始信 息進行規(guī)定運算而取得的信息，也可以是與初始信息相同的信息。測定信 息保存部1201雖然優(yōu)選為非易失性的記錄介質(zhì)，但是也可以利用易失性的 記錄介質(zhì)來實現(xiàn)。而且，測定信息保存部1201的測定信息既可以是測定信 息存儲部1204所存儲的信息，也可以是從制造裝置11直揍接收的信息， 還可以是從未圖示的記錄介質(zhì)中讀出的信息。
初始信息接收部1202從一個以上的制造裝置11接收初始信息，該初 始信息是成為多個測定信息的基礎(chǔ)的信息。初始信息接收部1202可以利用 無線或有線的通信機構(gòu)等來實現(xiàn)。
測定信息存儲部1204將與初始信息接收部1201所接收的多個初始信 息對應(yīng)的測定信息存儲于測定信息保存部1201中。該測定信息既可以是測 定信息取得部1203對初始信息接收部1202所接收的多個初始信息進行規(guī) 定運算而取得的信息，也可以是與初始信息相同的信息。所謂規(guī)定運算例 如另_樹見定的時間間隔，算出多個初始信息所具有的多個值的平均值、或 取得最大值、或取得最小值、或?qū)⒅禈?biāo)準(zhǔn)化、或算出標(biāo)準(zhǔn)差、或取得中值 的運算。在將測定信息取得部1203所取得的多個測定信息配置于測定信息 保存部1201中的情況下，測定信息存儲部1204所進行的存儲處理與NOP (No Operation )是相同意義。測定信息存儲部1204通常來說可以由MPU、 存儲器等來實現(xiàn)。測定信息存儲部1204的處理過程通常來說利用軟件來實 現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以利用硬件(專用 電路)來實現(xiàn)。
指示接收部1205接收指示。該指示通常來說是>^戶裝置13處接收， 然而也可以從與服務(wù)器裝置12連接的鍵盤或鼠標(biāo)等處接收。指示接收部 1205所接收的指示例如為保存在測定信息M部1201中的測定信息的輸 出指示，該輸出指示包括確定規(guī)定起點的信息、作為取得測定信息的時間的有效時間的信息。"確定規(guī)定起點的信息"具體來說是為了確定存儲
在服務(wù)器裝置12中的作為時間序列的信息的測定信息當(dāng)中成為輸出對象 的測定信息而使用的信息，是用于確定測定信息所具有的時刻信息的期望 起點的信息。該"確定規(guī)定起點的信息"只要結(jié)果是可以確定用于測定信 息取得部1203取得測定信息的起點的信息，則無論是何種信息都可以。所 謂"確定規(guī)定起點的信息"，具體來講是確定配方步驟內(nèi)的僅僅一部分的 起點的信息。"確定規(guī)定起點的信息，，例如可以是以時刻、例如以下午1 點10分等來指定起點的信息。另夕卜，也可以將"確定起點的信息"例如設(shè) 定為特定的配方步驟標(biāo)識符。該情況下，該配方步驟的開始時間點被設(shè)定 為起點?；蛘?，"確定起點的信息"也可以是對測定信息等設(shè)定與測定信 息相關(guān)的*的信息。所謂"與測定信息相關(guān)的^Hf"例如是測定信息的 值、指定值的范圍等的條件。例如為作為測定信息之一的溫度、壓力、氣 體流量、功率等的值、指定值的范圍的條件。該情況下，將滿足了該M 的時間點i更定為起點。作為具體例，也可以將某個測定信息，例如溫度、 氣體流量等滿足了規(guī)定值的時間點，例如溫度達到300匸以上的時間點、 或氣體流量達到IOOSCCM的時間點設(shè)定為起點。所謂"有效時間的信息，， 具體來說是指指定取得測定信息的時間，也就是指定期間的信息。"有效 時間的信息"例如為5分鐘、1小時等表示時間長度的信息。指示接收部 1205在接收到例如包含此種確定規(guī)定起點的信息、和作為取得測定信息的 時間的有效時間的信息的測定信息的輸出指示的情況下，由后述的測定信 息取得部1203開始測定信息的取得,從與指定該起點的時刻建立了對應(yīng)的 測定信息中，取得與以下期間所包含的時刻對應(yīng)的測定信息，該期間是到 經(jīng)過了有效時間的長度的時間的時刻為止的期間。而且，這里所說的時刻 既可以是各地的標(biāo)準(zhǔn)時刻等絕對的時刻，也可以是以群管理系統(tǒng)內(nèi)的固有 時鐘等為基準(zhǔn)時間的時刻等相對的時刻。另外，輸出指示也可以除了包括 上述的確定規(guī)定起點的信息和有效時間的信息以外，還包括為了輸出期望 配方步驟內(nèi)的、從所述規(guī)^點起的有效期間的信息所表示的時間內(nèi)的測 定信息，而指定配方步驟的信息，例如配方步驟標(biāo)識符。另外，輸出指示 也可以還包括為了輸出期望配方內(nèi)的測定信息而指定配方的信息，例如配 方標(biāo)識符。通常來說，該配方標(biāo)識符和配方步驟標(biāo)識符用于指定與一個以 上制造裝置的具有相同標(biāo)識符的多個配方或配方步驟建立了對應(yīng)的測定 信息。另夕卜，輸出指示也可以還包括為了輸出一個以上制造裝置11中的特 定制造裝置的測定信息，而指定一個以上制造裝置11中的至少任意一個的
18信息，例如制造裝置標(biāo)識符等。另外，在輸出指示中，也可以包括指定如 何輸出M點起的有效時間內(nèi)的測定信息的信息。例如，既可以是將測定 信息作為期望形式的數(shù)據(jù)輸出的指示、或進行圖表化而輸出的指示，也可 以是輸出使用測定信息進行了規(guī)定分析、處理，例如進行了多變量解析或 統(tǒng)計處理等的結(jié)果的指示。另外，也可以是使用測定信息進行異常檢測或 異常分析等的指示。另外，輸出指示也可以包括所輸出的圖表的種類，例
如SPC圖表、相關(guān)圖表或MD圖表等信息。另外，輸出指示也可以包括 指定進行圖表輸出的測定信息的數(shù)據(jù)類型，例如溫度、氣體流量、壓力等 的信息。另外，輸出指示也可以包括構(gòu)成圖表的點、線的屬性信息。所謂 屬性信息是指點的顏色、點的種類(形狀)、線的顏色、線種類等。指示 接收部1205例如由無線或有線的接收機構(gòu)構(gòu)成。指示的輸入機構(gòu)可以是數(shù) 字鍵、鍵盤、鼠標(biāo)也可以是菜單畫面等，哪一種都可以。指示接收部1205 可以利用數(shù)字鍵或鍵盤等輸入機構(gòu)的設(shè)備驅(qū)動器、菜單畫面的控制軟件等 來實現(xiàn)。
測定信息取得部1203根據(jù)包括指示接收部1205所接收到的確定規(guī)定 起點的信息和有效時間的信息的測定信息的輸出指示，從測定信息保存部 1201中取得從規(guī)定起點起的有效時間的信息所表示的時間內(nèi)的測定信息。 具體來說，根據(jù)如上所述的輸出指示所具有的確定規(guī)^點的信息和有效 時間的信息，取得具有與以下各時刻相對應(yīng)的時刻信息的測定信息，該各 時刻是從規(guī)定起點起的有效時間的信息所表示的時間內(nèi)所包含的時刻，該 規(guī)定起點是由確定該規(guī)定起點的信息所確定的。所謂有效時間的信息具體 來說是確定配方步驟內(nèi)的僅僅一部分的時間，也就是確定期間的信息，例 如用于指定某個配方步驟整體的時間的信息除外。具體來說，在輸出指示 中包括了作為確定規(guī)定起點的信息的起點時刻、有效時間的信息的情況 下，取得M點時刻起、該有效時間的信息所表示的時間內(nèi)，即、到達到 有效時間的時刻為止的時間內(nèi)的測定信息。另外，例如在輸出指示中包括 了作為確定規(guī)定起點的信息的配方步驟標(biāo)識符、有效時間的信息的情況 下，取得從作為利用該配方步驟標(biāo)識符識別的配方步驟的開始時間點的起 點起、有效時間的信息所表示的時間內(nèi)，即、到達到有效時間的時刻為止 的時間內(nèi)的測定信息。另外，在輸出指示中包括了與作為確定規(guī)定起點的 信息的測定信息相關(guān)的條件、有效時間的信息的情況下，取得從取得了最 先符合與測定信息相關(guān)的條件的測定信息的時間點起、有效時間的信息所 表示的時間內(nèi)，即、至達到有效時間的時刻為止的時間內(nèi)的測定信息。所謂"與測定信息相關(guān)的條件"如上所述，是測定信息的值、指定值的范圍 等的條件。具體來說，在作為測定信息之一具有溫度或壓力、氣體流量等 的測定值的情況下，將該溫度達到了作為"與測定信息相關(guān)的條件"的規(guī) 定值的時刻設(shè)定為起點。另外，輸出指示也可以除了與作為用于確定起點 的信息的測定信息相關(guān)的條件、有效時間的信息以外，還包括配方步驟標(biāo) 識符，使得取得從以下時間點起、有效時間的信息所表示的時間內(nèi)、也就 是以達到有效時間的時刻為終點的時間內(nèi)的測定信息，該時間點是取得了 與該配方步驟標(biāo)識符對應(yīng)的配方步驟的測定信息當(dāng)中的、最先符合與測定 值相關(guān)的條件的測定信息的時間點。另外，也可以如下所示這樣，根據(jù)確 定起點的信息等各種各樣的務(wù)fr，例如配方步驟的處理時間、測定信息的 值的變化等來變更取得測定信息的范圍。例如，在從某個起點起的有效時 間的結(jié)束時刻處于包含該起點的配方步驟的結(jié)束時刻之后的情況下，也可 以取得到該配方步驟結(jié)束時為止的測定信息。另外，在如上所述那樣，確
定起點的信息例如為配方步驟標(biāo)識符，且測定信息取得部1203從作為由該 配方步驟標(biāo)識符識別的配方步驟的開始時間點的起點起取得測定信息的 情況下，測定信息取得部1203也可以取得到有效時間結(jié)束時、和由配方步 驟標(biāo)識符識別的配方步驟結(jié)束時當(dāng)中的較早一方為止的測定信息。另外， 在使用與作為確定起點的信息的測定信息相關(guān)的條件，取得從取得了最先 符合與測定信息相關(guān)的條件的測定信息的時間點起、有效時間的信息所表 示的時間內(nèi)、也就是以達到了有效時間的時刻為終點的時間內(nèi)的測定信息 的情況下，測定信息取得部1203也可以取得到所述有效時間結(jié)束時、和所 取得的測定信息不滿足上述與測定信息相關(guān)的條件時當(dāng)中的任意一個較 早一方為止的測定信息。另外，如上所述，在確^點的信息是與測定信 息相關(guān)的條件，并且輸出指示具有用于指定配方步驟的配方步驟標(biāo)識符的 情況下，也可以取得從取得了與該配方步驟標(biāo)識符對應(yīng)的配方步驟的測定 信息中的最先符合所述與測定值相關(guān)的條件的測定信息的時間點起、到上 述的有效時間結(jié)束時、作為由配方步驟標(biāo)識符識別的配方步驟結(jié)束時、和 所取得的測定信息不滿足所述與測定值相關(guān)的條件時當(dāng)中的較早一方為
止的測定信息。另外，在輸出信息除了具有確定起點的信息和有效時間的 信息以外，還具有如上所述的與測定信息相關(guān)的^Hf來作為用于確定結(jié)束 測定信息的取得的終點的信息的情況下，可以在從設(shè)定為起點的時刻起到 經(jīng)過有效時間為止的時間內(nèi)，取得了最先不符合與用于確^點的測定信 息相關(guān)的務(wù)fr的測定信息時，將該時間點作為終點，取得到該終點為止的有效時間的信息所表示的時間內(nèi)的測定信息。該情況下的與測定信息相關(guān) 的條件也可以和與用于確^點的測定信息相關(guān)的條件不同。測定信息取
得部1203通常來說可以由MPU、存儲器等來實現(xiàn)。測定信息取得部1203 的處理過程通常來說利用軟件來實現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等記錄介 質(zhì)中。但是，也可以利用硬件(專用電路)來實現(xiàn)。
第一測定信息取得機構(gòu)12031取得最先符合與輸出指示中所包含的測 定信息相關(guān)的條件的測定信息。具體來說，在輸出指示包括與測定信息相 關(guān)的條件和作為取得測定信息的時間的有效時間的信息，并將取得測定信 息之時的規(guī)^點作為符合與測定信息相關(guān)的條件的時間點的情況下，第 一測定信息取得機構(gòu)12031取得最先符合與輸出指示中所包含的測定信息 相關(guān)的條件的測定信息。另外，第一測定信息取得機構(gòu)12031也可以取得 如下的測定信息，該測定信息是與輸出指示所具有的配方步驟標(biāo)識符對應(yīng) 的測定信息，是最先符合與輸出指示中所包含的測定信息相關(guān)的條件的測 定信息。具體來說，在輸出指示包括配方步驟標(biāo)識符、與測定信息相關(guān)的 條件、作為取得測定信息的時間的有效時間的信息，且將取得測定信息之 時的規(guī)^點作為以下時間點，即、配方所具有的配方步驟當(dāng)中的由上述 配方步驟標(biāo)識符識別的規(guī)定配方步驟內(nèi)的、符合上述與測定信息相關(guān)的條 件的時間點的情況下，第一測定信息取得機構(gòu)12031也可以取得與輸出指 示所具有的配方步驟標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息當(dāng)中的、最先符合輸出指示中 所包含的與測定信息相關(guān)的條件的測定信息。第 一測定信息取得機構(gòu) 12031通常來說可以由MPU和存儲器等來實現(xiàn)。第一測定信息取得機構(gòu) 12031的處理過程通常來說利用軟件來實現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等記 錄介質(zhì)中。但是，也可以利用硬件(專用電路)來實現(xiàn)。而且，在輸出指 示中不包含與測定信息相關(guān)的條件的情況下，由于不需要該第一測定信息 取得機構(gòu)12031，因此也可以省略。
有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)12032取得從第一測定信息取得機構(gòu) 12031取得了最初的測定信息的時間點起、有效時間的信息所表示的時間 內(nèi)的測定信息。例如，從第一測定信息取得W^ 12031所取得的測定信息 所具有的時刻信息所表示的時刻起，取得測定信息。而且，第一測定信息 取得M 12031所取得的測定信息與有效時間內(nèi)測定信息取得;M^ 12032 所取得的測定信息也可以不一致。例如，也可以是第一測定信息取得機構(gòu)
12031所取得的測定信息為溫度的測定信息，有效時間內(nèi)測定信息取得機 構(gòu)12032所取得的測定信息為氣體流量、壓力的測定信息。而且，有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)12032也可以根據(jù)例如配方步驟的時間、測定信息 的值的變化等適當(dāng)?shù)刈兏〉脺y定信息的范圍。具體來說，有效時間內(nèi)測 定信息取得Ml 12032也可以取得到有效時間結(jié)束時、利用配方步驟標(biāo)識 符識別的配方步驟結(jié)束時、和所取得的測定信息不滿足所述與測定值相關(guān) 的務(wù)泮時當(dāng)中的較早一方為止的測定信息。有效時間內(nèi)測定信息取得^ 12032通常來說可以由MPU和存儲器等來實現(xiàn)。有效時間內(nèi)測定信息取 得W^ 12032的處理過程通常來說可以利用軟件來實現(xiàn)，該軟件被記錄于 ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以利用硬件(專用電路)來實現(xiàn)。而且， 在輸出指示中不包含與測定信息相關(guān)的條件的情況下，由于不需要該有效 時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)12032,因此也可以省略。
輸出信息構(gòu)成部1206構(gòu)成使用了測定信息取得部1203所取得的測定 信息的輸出信息。例如，輸出信息構(gòu)成部1206構(gòu)成預(yù)先設(shè)定了的形式或指 示接收部1205接收到的指示所指定的形式的輸出信息，具體來說，構(gòu)成文 本形式、XML形式或數(shù)據(jù)庫形式等的輸出信息。另外，輸出信息構(gòu)成部 1206使用測定信息取得部1203所取得的測定信息來構(gòu)成作為輸出信息的 圖表。此時，輸出信息構(gòu)成部1206最好以在視覺上可區(qū)別不同種類的測定 信息與不同的制造裝置的測定信息的方式來構(gòu)成輸出信息。輸出信息構(gòu)成 部1206例如構(gòu)成與存儲于輸出指示存儲部1208中的輸出指示對應(yīng)的輸出 信息。另外，也可以使用所取得的測定信息進行規(guī)定運算，構(gòu)成使用了該 運算結(jié)果的輸出信息。所謂規(guī)定運算例如是每隔規(guī)定的時間間隔，算出多 個測定信息所具有的多個值的平均值、將多個測定信息沿著時間軸進行累 計、取得最大值、取得最小值、將值標(biāo)準(zhǔn)化、算出標(biāo)準(zhǔn)差、取得中值的運 算。而且，也可以在測定信息存儲部1204存儲初始信息接收部1202接收 到的多個初始信息之時，對多個初始信息進行此種規(guī)定運算。另外，輸出 信息構(gòu)成部1206也可以構(gòu)成^^用了后述的異常檢測部1210的判斷結(jié)果的 輸出信息。例如，輸出信息構(gòu)成部1206利用測定信息取得部1203所取得 的多個測定信息來構(gòu)成圖表，此時，輸出信息構(gòu)成部1206以視覺上可區(qū)別 異常的測定信息與正常的測定信息的方式來構(gòu)成輸出信息。這里所說的輸 出信息例如可以是與異常的測定信息相關(guān)的測定部名和時刻的列表信息。 該測定部名例如是根據(jù)識別測定信息中所包含的測定部1106所測定的測 定部位的信息而取得的。另外，所謂輸出信息例如也可以是由該列表信息 和測定信息構(gòu)成的圖表的信息。所謂輸出信息例如為表示正常的信息、表 示異常的信息。所謂輸出信息例如為表示是正常和異常的哪一方的聲音信
22息(蜂鳴等)。另外，輸出信息構(gòu)成部1206為了檢測異常，也可以進行構(gòu) 成示出了異常值、正常值的范圍的圖表的處理。該情況下，異常檢測部1210 讀入符合輸出指示的測定信息，而不管是否進行異常檢測的處理。在輸出 指示中包含兩個以上的制造裝置標(biāo)識符的情況下，輸出信息構(gòu)成部1206 最好構(gòu)成能夠在視覺上區(qū)別與每個制造裝置標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息的樣 式的圖表。另外，在輸出指示中包含兩個以上配方標(biāo)識符的情況下，輸出 信息構(gòu)成部1206最好構(gòu)成能夠在視覺上區(qū)別與每個配方標(biāo)識符對應(yīng)的測 定信息的樣式的圖表。這里，所謂能夠在視覺上區(qū)別與每個制造裝置標(biāo)識 符對應(yīng)的測定信息的樣式的圖表，是指在輸出指示包含兩個以上的制造裝 置標(biāo)識符的情況下，將與每個制造裝置標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息用不同的點 的種類(四邊形和圓圏的形狀、顏色、大小)輸出的圖表，或?qū)⑴c每個制 造裝置標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息用不同的線顏色連結(jié)的圖表等。另外，所謂 能夠在視覺上區(qū)別與每個制造裝置標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息的樣式的圖表， 還指在輸出指示僅包含一個制造裝置標(biāo)識符的情況下，由該一個制造裝置 標(biāo)識符的多個測定信息構(gòu)成的圖表。另外，所謂能夠在視覺上區(qū)別與每個 配方標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息的樣式的圖表，是指在輸出指示包含兩個以上 的配方標(biāo)識符的情況下，將與每個配方標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息用不同的點 的種類(四邊形和圓圏的形狀、顏色、大小)輸出的圖表，或?qū)⑴c每個配 方標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息用不同的線種類(實線和虛線等)連結(jié)的圖表等。 另外，所謂能夠在視覺上區(qū)別與每個配方標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息的樣式的 圖表，還指在輸出指示僅包含一個配方標(biāo)識符的情況下，由該一個配方標(biāo) 識符的多個測定信息構(gòu)成的圖表。另外，輸出信息構(gòu)成部1206也可以利用 所讀出的多個測定信息構(gòu)成如下的SPC圖表(統(tǒng)計過程管理圖表)，該SPC 圖表是在視覺上能夠區(qū)別與每個制造裝置標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息的樣式 的圖表，是依照一種測定信息具有的時刻信息所表示的時刻的順序，描繪 所讀出的多個測定信息而得到的圖表。SPC圖表是統(tǒng)計過程管理中所用的 圖表，是用于監(jiān)視單變量而進行異常檢測的圖表。SPC圖表中，最好事先 設(shè)定好監(jiān)視對象的上下限值(管理值)，在成為管理值外的值的情況下， 異常檢測部1210檢測出異常，在視覺上表示所檢測到的異常。此種上限值 例如預(yù)先保存在后述的條件信息保存部1209中。另外，輸出信息構(gòu)成部 1206在輸出指示包含一個以上的制造裝置標(biāo)識符的情況下，也可以利用具 有該一個以上的制造裝置標(biāo)識符中的任意一個的多個測定信息來構(gòu)成如 下的相關(guān)圖表，該相關(guān)圖表是在視覺上能夠區(qū)別與每個制造裝置標(biāo)識符對說明書第18/35頁
應(yīng)的測定信息的樣式的圖表，是表示兩種測定信息的相關(guān)的圖表。相關(guān)圖
表M視2個變量的相關(guān)關(guān)系的圖表，是可以從2個變量中檢測異常的圖 表。另外，輸出信息構(gòu)成部1206在輸出指示包含一個以上的配方標(biāo)識符的 情況下，也可以利用具有該一個以上的配方標(biāo)識符中的任意一個的多個測 定信息來構(gòu)成如下的MD (Mahalanobis距離)圖表，該MD圖表是在視 覺上能夠區(qū)別與每個配方標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息的樣式的圖表，是表示三 種以上的測定信息的相關(guān)的圖表。圖表的構(gòu)成例如是依照時間軸將多個測 定信息用線連結(jié)而得到圖表的處理。在被賦予多個具有值和時刻信息的測 定信息的情況下，由于構(gòu)成圖表的處理是公知技術(shù)，因此省略詳細的說明。 另外，在被賦予多個具有值和時刻信息的測定信息的情況下，由于構(gòu)成 SPC圖表、相關(guān)圖表、MD圖表的處理是>^技術(shù)，因此省略詳細的說明。 另外，所謂兩種測定信息也包括在一個測定信息中包含兩種被測定的值 (例如溫度和氣體流量)的信息。另外，所謂三種以上的測定信息也包括 在一個測定信息中包含三種以上被測定的值(例如溫度、氣體流量和壓力) 的信息。輸出信息構(gòu)成部1206通常來說可以由MPU和存儲器等來實現(xiàn)。 輸出信息構(gòu)成部1206的處理過程通常來說可以用軟件實現(xiàn),該軟件被記錄 于ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以利用硬件(專用電路)來實現(xiàn)。
輸出部1207輸出輸出信息構(gòu)成部1206所構(gòu)成的圖表。這里，所謂輸 出通常來說是向客戶裝置13的發(fā)送。但是，輸出部1207也可以在與服務(wù) 器裝置12連接的顯示器上顯示圖表，或向打印機打印，或向外部的裝置發(fā) 送。輸出部1207可以利用無線或有線的通信;W^來實現(xiàn)。但是，輸出部 1207也可以利用輸出設(shè)備的驅(qū)動軟件或用輸出設(shè)備的驅(qū)動軟件和輸出設(shè) 備等來實現(xiàn)。
輸出指示存儲部1208存儲輸出指示，該輸出指示是點及線等的屬性 信息和制造裝置標(biāo)識符的指示，或者是點及線等的屬性信息與配方標(biāo)識符 等的指示。輸出指示存儲部1208例如也可以在指示接收部1205接收到作 為存儲圖表的設(shè)定(包括顏色信息)的指示的存儲指示的情況下，存儲具 有點及線等的屬性信息和裝置標(biāo)識符、或具有點及線的屬性信息和配方標(biāo) 識符的輸出指示。另外，輸出指示存儲部1208通常來"i兌可以由MPU和存 儲器等來實現(xiàn)。輸出指示存儲部1208的處理過程通常來說可以利用軟件來 實現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以用硬件(專用 電路)來實現(xiàn)。
條件信息保存部1209 M了作為與異常檢測的條件相關(guān)的信息的條件信息。條件信息例如是表示測定值的正常范圍的上限值和下限值。4Hf 信息例如也可以僅為正常值與異常值之間的邊界值。這些值通常被稱為管 理值。此外，條件信息隨著測定對象的值(溫度、壓力、氣體流量、功率 等)的不同而不同。另外，不管條件信息的結(jié)構(gòu)如何均可。條件信息M
部1209優(yōu)選為非易失性的記錄^^質(zhì)，然而也可以利用易失性的記錄^^質(zhì)來 實現(xiàn)。
異常檢測部1210判斷作為測定信息取得部1203所取得的測定信息所 具有的值的測定值是異常還是正常。異常檢測部1210使用M信息保存部 1209的條件信息，判斷測定信息所具有的測定值是異常還是正常。具體來 說，異常檢測部1210在測定信息取得部1203取得了測定信息的情況下， 判斷該測定信息是否分別符合條件信息。異常檢測部1210通常來說可以由 MPU和存儲器等來實現(xiàn)。異常檢測部1210的處理過程通常可以用軟件來 實現(xiàn)，該軟件被記錄于ROM等記錄介質(zhì)中。但是，也可以用硬件(專用 電路)來實現(xiàn)。而且，異常檢測部1210的異常檢測處理也可以是公知的異 常檢測的處理。
指示輸入部1301輸入各種指示。所謂各種指示例如為如上所述的服 務(wù)器裝置12中所存儲的測定信息的輸出指示。另夕卜，^動的指示、圖表 的輸出指示、圖表的屬性值(線種類、線的顏色、點的種類和點的顏色等) 的變更的指示等。指示的輸入機構(gòu)可以是數(shù)字鍵、鍵盤、鼠標(biāo)也可以是菜 單畫面等，哪一種都可以。指示輸入部1301可以利用數(shù)字鍵和鍵盤等輸入 機構(gòu)、其設(shè)備驅(qū)動器、菜單畫面的控制軟件等來實現(xiàn)。
指示發(fā)送部1302將由指示輸入部1301輸入的指示向服務(wù)器裝置12 發(fā)送。這里所說的發(fā)送通常來說是使用了通信機構(gòu)的發(fā)送。指示發(fā)送部 1302可以利用無線或有線的通信機構(gòu)等來實現(xiàn)。
接收部1303從服務(wù)器裝置12接收圖表等輸出信息。這里所說的接收 信機構(gòu)等來實現(xiàn)。
顯示部1304在顯示器上顯示接收部1303所接收到的圖表等輸出信 息。而且，在接收部1303從服務(wù)器裝置12接收文本形式、XML形式、 數(shù)據(jù)庫形式等的輸出信息的情況下，顯示部1304也可以具備用于利用這些 輸出信息構(gòu)成顯示數(shù)據(jù)的MPU和存儲器等，使顯示部1304與輸出信息構(gòu) 成部1206同樣地來構(gòu)成顯示圖表等用的輸出信息，并將該輸出信息顯示在顯示器上。顯示部1304既可以看作包含顯示器，也可以看作不包含顯示器。 顯示部1304可以利用顯示器的驅(qū)動軟件或利用顯示器的驅(qū)動軟件和顯示 器等來實現(xiàn)。
下面，對群管理系統(tǒng)的動作進幹說明。首先，使用圖4的流程圖對制 造裝置ll的動作進行說明。而且，在這里，對初始信息包含與測定時執(zhí)行 的配方步驟對應(yīng)的配方步驟標(biāo)識符的情況進行說明。
(步驟S401)處理部1105讀出配方保存部1102的配方。
(步驟S402 )處理部1105向計數(shù)器i中代入1。
(步驟S403 )處理部1105判斷在步驟S401中讀入的配方中，是否存 在第i個配方步驟。如果存在第i個配方步驟，則前進到步驟S404，如果 不存在第i個配方步驟，則前進到步驟S411。
(步驟S404)處理部1105執(zhí)行第i個配方步驟的處理。
(步驟S405 )測定部1106進行預(yù)先決定的一種以上的測定(例如溫 度和壓力)，取得測定值(這里的測定值通常來說僅具有一種以上的值)。
(步驟S406)測定部1106從計時部1104中取得時刻信息，另夕卜，從 配方保存部1102中取得配方步驟標(biāo)識符，對所測定的信息賦予時刻信息和 配方步驟標(biāo)識符，構(gòu)成初始信息。
(步驟S407 )初始信息存儲部1107將在步驟S406中構(gòu)成的初始信息 暫時存儲在未圖示的存儲器中。
(步驟S408)處理部1105判斷第i個配方步驟的處理是否結(jié)束。例 如，在第i個配方步驟的處理時間被預(yù)先決定的情況下，判斷是否經(jīng)過了 該處理時間。另夕卜，在第i個配方步驟的處理的結(jié)束條件決定了的情況下， 例如，在預(yù)先決定了當(dāng)溫度達到了規(guī)定溫度時結(jié)束處理的情況下，判斷是 否滿足處理條件，在滿足的情況下，決定結(jié)束處理。在結(jié)束處理的情況下， 前進到步驟S409，在不結(jié)束處理的情況下，回到步驟S405。
(步驟S409 )初始信息發(fā)送部1108將在步驟S407中暫時存儲的初始 信息(這里是一種以上的值、時刻信息和配方步驟標(biāo)識符的組)向服務(wù)器 裝置12發(fā)送。另外，假定初始信息發(fā)送部1108保持有用于與服務(wù)器裝置 12通信的信息(例如服務(wù)器裝置12的IP地址等)。
(步驟S410 )處理部1105將計數(shù)器i加一，并回到步驟S403。(步驟S411)初始信息發(fā)送部1108從配方保存部1102中讀出配方標(biāo) 識符。該配方標(biāo)識符是在步驟S401中讀入的配方的配方標(biāo)識符。
(步驟S412 )初始信息發(fā)送部1108從制造裝置標(biāo)識符M部1103中 讀出制造裝置標(biāo)識符。
(步驟S413 )初始信息發(fā)送部1108將從步驟S410到步驟S411中讀 出的配方標(biāo)識符及制造裝置標(biāo)識符向服務(wù)器裝置12發(fā)送。而且，假定初始 信息發(fā)送部1108保持有用于與服務(wù)器裝置12通信的信息(例如服務(wù)器裝 置12的IP地址等)。此后，結(jié)束處理。
另外，圖4的流程圖的步驟S407中，初始信息存儲部1107也可以不 將步驟S406中構(gòu)成的初始信息暫時存儲在未圖示的存儲器中，而是逐個 地與步驟S409同樣地向服務(wù)器裝置12發(fā)送。由此，可以實時地向服務(wù)器 裝置發(fā)送數(shù)據(jù)。另外，也可以在測定的開始時發(fā)送制造裝置標(biāo)識符、配方 標(biāo)識符。
此外，在初始信息中不含有配方步驟標(biāo)識符的情況下，也可以在步驟 S408之后，進行從步驟S411到步驟S413的處理，并且進行從配方保存部 1102中讀出配方步驟標(biāo)識符，將其向服務(wù)器裝置發(fā)送的處理。
下面，使用圖5的流程圖對服務(wù)器裝置12的動作進行說明。而且， 這里以指示接收部1205接收到的輸出指示為圖表的輸出指示的情況為例
進m兌明。
(步驟S501)判斷指示接收部1205是否接收到指示。如果接收到指 示，則前進到步驟S502，如果沒有接收到指示，則前進到步驟S507。
(步驟S502 )測定信息取得部1203判斷在步驟S501中接收到的指示 是否是圖表的輸出信息的輸出指示。如果是圖表的輸出指示，則前進到步 驟S503,如果不是圖表的輸出指示，則回到步驟S501。
(步驟S503 )測定信息取得部1203將步驟S501中接收到的圖表的輸 出指示中所包含的、確定規(guī)定起點的信息及有效時間的信息、 一個以上的 制造裝置標(biāo)識符、 一個以上的配方標(biāo)識符等作為關(guān)鍵值，檢索測定信息保 存部1201，取得一個以上的測定信息。而且，測定信息至少具有值(溫度、 氣體流量的值等)和時刻信息。另外，測定信息也可以具有配方步驟標(biāo)識 符。另外，所謂將確定規(guī)定起點的信息及有效時間的信息作為關(guān)鍵值檢索 是指，從利用該確定規(guī)定起點的信息確定的規(guī)定起點起，取得具有與有效時間的信息所表示的時間內(nèi)、也就是期間內(nèi)的各時刻對應(yīng)的時刻信息的測 定信息。另外，所謂將一個以上的制造裝置標(biāo)識符作為關(guān)鍵值檢索是指， 取得具有一個以上的制造裝置標(biāo)識符中的任意一個的測定信息。另外，所 謂將一個以上的配方標(biāo)識符作為關(guān)鍵值檢索是指，取得具有一個以上的配
方標(biāo)識符中的任意一個的測定信息。而且，對于該處理，將在圖6中詳細 說明。
(步驟S504 )異常檢測部1210判斷在步驟S503中取得的一個以上的 測定信息所具有的各測定值是異常還是正常。具體來說，異常檢測部1210 使用條件信息來判斷各測定值是異常還是正常。
(步驟S505 )輸出信息構(gòu)成部1206利用在步驟S503中取得的測定信 息，來構(gòu)成遵循了所接收的輸出指示的圖表等輸出信息。此時，也可以對 測定信息進行規(guī)定運算。而且，在輸出信息為圖表的情況下，圖表的線的 屬性值(線的顏色、線種類、點的顏色、點的種類等)是所指示的屬性值、 默認的屬性值等，輸出信息構(gòu)成部1206使用該屬性值來構(gòu)成圖表。所構(gòu)成 的圖表是在視覺上能夠區(qū)別與每個制造裝置標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息的樣 式的圖表，或在視覺上能夠區(qū)別與每個配方標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息的樣式 的圖表，或者在視覺上能夠區(qū)別這兩者的樣式的圖表。另外，所構(gòu)成的圖 表是遵循了輸出指示所具有的圖表的種類信息(SPC圖表、相關(guān)圖表、 MD圖表等)的圖表。另外，輸出信息構(gòu)成部1206構(gòu)成使用了步驟S505 中的異常檢測處理的結(jié)果的輸出信息。所謂"使用了異常檢測處理的結(jié)果 的輸出信息，，既可以是明示是異常的測定信息還是正常的測定信息的樣式 的輸出信息，也可以是明示了異常與正常的閾值的圖表等。
(步驟S506)輸出部1207輸出步驟S505中構(gòu)成的輸出信息。這里所 說的輸出是向客戶裝置13的發(fā)送?；氐讲襟ES501。
(步驟S507 )初始信息接收部1202判斷是否從制造裝置11接收到一 個以上的初始信息。如果接收到初始信息，則暫時存儲在未圖示的存儲器 等中，并前進到步驟S508，如果沒有接收到初始信息，則回到步驟S501。
(步驟S508 )測定信息存儲部1204對初始信息接收部1202接收到的 初始信息進行規(guī)定運算，取得一個以上的測定信息。所謂對多個初始信息 進行規(guī)定運算是指，對多個初始信息具有的多個組所具有的一種以上的值 分別進行規(guī)定運算(算出平均值、算出標(biāo)準(zhǔn)差、取得最大值等)。但是， 也可以不進行規(guī)定運算。另外，所謂成為規(guī)定運算的對象的多個初始信息是分別間隔規(guī)定時間間隔(例如10分鐘)的多個初始信息，是分別間隔規(guī) 定步驟數(shù)的多個初始信息。而且，測定信息存儲部1204也可以在初始信息 接收部1202接收到的初始信息或測定信息上，適當(dāng)?shù)馗郊映跏夹畔⒔邮詹?1202接收到的制造裝置標(biāo)識符、配方標(biāo)識符等。
(步驟S509 )測定信息存儲部1204將在步驟S512中取得的一個以上 的測定信息存儲在測定信息保存部1201中?；氐讲襟ES501。
另外，在圖5的流程圖中，通過電源切斷、處理結(jié)束的中斷來結(jié)束處理。
另外，在圖5的流程圖中，在接收圖表的輸出指示之前，存儲測定信息。
另外，在圖5的流程圖中，也可以取代測定信息而存儲初始信息，在 進行圖表等輸出信息的輸出之時，對多個初始信息進行規(guī)定運算，取得一 個以上的測定信息，使用該一個以上的測定信息來構(gòu)成輸出信息并輸出。 也就是說，不管構(gòu)成測定信息的時機如何均可。
以下，使用圖6的流程圖對圖5的流程圖中的檢索測定信息的處理進 行說明。這里，假定在輸出指示中包含含有成為輸出對象的測定信息的 配方步驟的配方步驟標(biāo)識符；與作為用于確定起點的信息的測定信息相關(guān) 的務(wù)fr、即，用于指定要取得的測定信息的值的范圍等的例如溫度、壓力 等條件；指定用于取得測定信息的期間的有效時間。另外，這里為了簡化 說明，假定在輸出指示中包含制造裝置標(biāo)識符及配方標(biāo)識符，從存儲在測 定信息M部1201中的測定信息當(dāng)中的、輸出指示中所包含的制造裝置標(biāo) 識符及配方標(biāo)識符一致的測定信息內(nèi)，檢索測定信息。
(步驟S601)測定信息取得部1203將計數(shù)器Ki殳定為1。
(步驟S602)第一測定信息取得機構(gòu)12031從測定信息保存部1201 中取得與配方步驟標(biāo)識符所指定的配方步驟對應(yīng)的測定信息中的第K個
測定信息。
(步驟S603 )第一測定信息取得^ 12031判斷測定信息是否滿足與 測定信息相關(guān)的條件。在滿足的情況下，前進到步驟S606,在不滿足的情 況下，前進到步驟S604。
(步驟S604 )測定信息取得部1203將計數(shù)器K加一。
(步驟S605 )第一測定信息取得^ 12031判斷在與配方步驟標(biāo)識符所指定的配方步驟對應(yīng)的測定信息中是否有第K個測定信息。在有的情況 下，回到步驟S602,在沒有的情況下，返回上級函數(shù)。
(步驟S606)有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)12032判斷第K個測定 信息是否是如下的測定信息，即，具有從滿足了與測定信息相關(guān)的條件的 測定信息的時刻信息所表示的時刻起經(jīng)過了有效時間的時刻信息。在已經(jīng) 經(jīng)過的情況下，結(jié)束處理，在尚未經(jīng)過的情況下，前進到步驟S607。
(步驟S607)有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)12032將第K個測定信 息存儲在未圖示的存儲器等中。
(步驟S608)測定信息取得部1203將計數(shù)器K加一。
(步驟S609 )有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)12032判斷在與配方步驟 標(biāo)識符所指定的配方步驟對應(yīng)的測定信息中是否有第K個測定信息。在有 的情況下，前進到步驟S610，在沒有的情況下，返回上級函數(shù)。
(步驟S610 )有效時間內(nèi)測定信息取得;W^ 12032取得第K個測定信息。
(步驟S611 )有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)12032判斷所取得的第K 個測定信息是否滿足與測定信息相關(guān)的條件。在滿足的情況下，回到步驟 S606,在不滿足的情況下，返回上級函數(shù)。
此夕卜，在圖6的流程圖中，在未設(shè)定與測定信息相關(guān)的條件的狀態(tài)下， 將配方步驟的開始時設(shè)定為取得測定信息的起點的情況下，例如只要省略 從步驟S603到步驟S605的處理即可。另外，此種情況下，可以省略第一 測定信息取得^！ 12031和有效時間內(nèi)測定信息取得^ 12032,它們所 執(zhí)行的處理可以由測定信息取得部1203進行。
另外，在作為確定起點的信息不使用與測定信息相關(guān)的條件的情況 下，以及在不使用與測定信息相關(guān)的M進行終點的判斷的情況下，由于 取得測定信息的終點為有效期間經(jīng)過時或配方步驟結(jié)束時，因此可以省略 步驟S611的處理。
另外，也可以單獨將與作為確^點的信息的測定信息相關(guān)的務(wù)降、 例如溫度設(shè)定為270度以上等，將與用于設(shè)定終點的測定信息相關(guān)的條件、 例如溫度設(shè)定為300度以上等。該情況下，只要在步驟S603中，進行是 否滿足與用于設(shè)^點的測定信息相關(guān)的條件的判斷，在步驟S611中，進 行是否滿足與用于設(shè)定終點的設(shè)定信息相關(guān)的條件的判斷即可。
30而且，這里雖然對在輸出指示中包含配方步驟標(biāo)識符的情況進行了說明，然而只要可以指^點等，則也可以不必一定包含配方步驟標(biāo)識符。但是，通常來說，在使用測定信息進行異常監(jiān)視的情況下，由于用于判斷測定信息是否異常的管理值是對每個配方步驟設(shè)定的，因此最好在輸出指示中含有配方步驟標(biāo)識符等，取得來自 一個配方步驟的測定信息。
另外，在圖5及圖6的流程圖中，最好通過用戶輸入輸出信息的輸出指示，來實時地開始異常檢測，在每次接收到初始信息時， 一邊更新輸出信息(圖表等)一邊進行異常檢測處理，如果發(fā)生異常，則立即通知用戶。也就是說，在圖5及圖6的流程圖中，更優(yōu)選進行以下的處理。即，初始信息接收部1202在利用制造裝置11的制造中等，實時地接M制造裝置11 一個接一個送來的初始信息，測定信息存儲部1204將測定信息至少暫時依次存儲在測定信息保存部1201中。此后，測定信息取得部1203進行依次存儲的測定信息是否滿足步驟S603中所示的與測定信息相關(guān)的IHf的判斷；以及該測定信息是否是具有以下時刻信息的測定信息的判斷，該時刻信息是未達到步驟S606中所示的從滿足了起點條件的測定信息的時刻信息所表示的時刻起經(jīng)過了有效時間的時刻的時刻信息。另外，如果需要，則進行該測定信息是否是與輸出指示中所包含的配方步驟標(biāo)識符所指定的配方步驟對應(yīng)的測定信息的判斷。此后，在依次存儲的測定信息滿足這些所有條件的情況下，測定信息取得部1203取得該測定信息。另外，異常檢測部1210對該測定信息進行異常的檢測處理。此后，輸出信息構(gòu)成部1206使用該測定信息、異常的檢測處理的結(jié)果，更新輸出信息，輸出部1207一個接一個地輸出更新了的輸出信息。利用該處理，可以實時地確認制造裝置11的狀態(tài)，并且實時地進行異常檢測，用戶可以立即認識到異常的發(fā)生。
下面，對客戶裝置13的動作進行說明。在客戶裝置13的指示輸入部1301從用戶處接收到圖表的輸出指示時，指示發(fā)送部1302將該輸出指示向服務(wù)器裝置12發(fā)送，接收部1303接收作為服務(wù)器裝置12中的處理結(jié)果的圖表的信息，顯示部1304顯示圖表。
下面，對本實施方式的群管理系統(tǒng)的具體動作進行說明。群管理系統(tǒng)的概念圖為圖1。
在本具體例中，當(dāng)一個以上的制造裝置11的輸入接收部1101接收到來自用戶的對晶片的加工處理的開始指示時，則處理部1105讀出配方M部1102的配方，在每個配方步驟中執(zhí)行所讀出的配方，進行晶片的加工處理。此外，測定部1106在晶片的加工處理中，例如每隔l秒就對預(yù)先決定的爐內(nèi)的氣體流量進行測定，構(gòu)成將所取得的氣體流量、從計時部1104取得的時刻信息、從配方保存部1102中取得的配方步驟標(biāo)識符配成對的初始信息。所構(gòu)成的初始信息由初始信息存儲部1107暫時存儲。所存儲的初始信息的例子為圖7。初始信息具有配方步驟標(biāo)識符、氣體流量、時刻信息。時刻信息是表示時刻的信息，既可以是確定到時分秒的信息，也可以是僅為日期及小時的信息。而且，該初始信息也可以包含數(shù)據(jù)類型(是測定信息的數(shù)據(jù)種類，例如氣體流量、溫度、壓力等)的信息，在這里包含表示是氣體流量的信息。
制造裝置11的初始信息發(fā)送部1108在構(gòu)成配方的所有配方步驟的執(zhí)行結(jié)束的階段，將由初始信息存儲部1107存儲的初始信息向服務(wù)器裝置12發(fā)送。另外，制造裝置11的初始信息發(fā)送部1108讀出制造裝置標(biāo)識符保存部1103的制造裝置標(biāo)識符及配方保存部1102的配方標(biāo)識符(在對被處理M進行規(guī)定處理之時執(zhí)行的配方的標(biāo)識符)，向服務(wù)器裝置12發(fā)送。而且，雖然這里是在所有的配方步驟結(jié)束之時，將初始信息向服務(wù)器裝置12發(fā)送，然而例如也可以在每取得一個初始信息時就實時地向服務(wù)器裝置12發(fā)送。
然后，服務(wù)器裝置12的初始信息接收部1202接收由配方步驟標(biāo)識符、氣體流量和時刻信息的組構(gòu)成的初始信息。另外，接收制造裝置標(biāo)識符及配方標(biāo)識符。此外，測定信息存儲部1204將具有配方步驟標(biāo)識符、氣體流量和時刻信息的多個組、配方標(biāo)識符及制造裝置標(biāo)識符的初始信息存儲于未圖示的存儲器等中。將該初始信息的例子表示于圖8中。圖8是初始信息管理表。初始信息管理表具有"制造裝置標(biāo)識符"、"配方標(biāo)識符"、"配方步驟標(biāo)識符"、"值(氣體流量)"、"時刻信息"。圖8的初始信息管理表具有一個制造裝置標(biāo)識符及配方標(biāo)識符對應(yīng)有值(這里為一種)、配方步驟標(biāo)識符和時刻信息的多個組的翁:據(jù)結(jié)構(gòu)。另外，圖8中，假定管理對應(yīng)于一個以上的制造裝置ll及多個配方的執(zhí)行的初始信息。而且，圖8的初始信息等的值是為了說明而準(zhǔn)備的信息，并非實測值。
然后，測定信息存儲部1204對圖8所示的多個初始信息進行規(guī)定運算，取得多個測定信息。這里，假定規(guī)定運算是算出平均值，測定信息存儲部1204每隔1分鐘就算出平均值。測定信息存儲部1204將該多個測定信息存儲在測定信息保存部1201中。圖9是用于管理存儲于測定信息存儲部1204中的測定信息的測定信息管理表。測定信息管理表具有"制造裝置標(biāo)識符"、"配方標(biāo)識符"、"配方步驟標(biāo)識符"、"平均值(氣體流量)"、"時刻信息"。"制造裝置標(biāo)識符"、"配方標(biāo)識符"、"配方步驟標(biāo)識符"、"平均值(氣體流量)"、"時刻信息"與圖8相同。另外，平均值是測定信息存儲部1204所算出的平均值。
另外，假定在條件信息保存部1209中，保存了判斷爐內(nèi)的氣體流量正常還是異常的條件信息"260<氣體流量<280"。
在該狀況下，假定用戶4戶裝置13向圖10所示的畫面輸入必要的信息，并按下"圖表輸出"^fe。圖IO是用于輸入圖表的輸出指示并輸出圖表的畫面。這里，所謂必要的信息是指指定用于取得測定信息的時間的包含確定規(guī)^點的信息和有效時間的信息的信息。這里作為例子，假定分別設(shè)有輸入配方步驟標(biāo)識符的區(qū)域101;輸入有效時間的區(qū)域102;用于指定與測定信息相關(guān)的條件的輸入氣體流量的值的條件的區(qū)域103。在區(qū)域103中未輸入值的情況下，則意味著將在區(qū)域IOI中輸入的"配方步驟標(biāo)識符"所指定的配方步驟的開始時間點指定為取得測定信息的起點。除了該信息以外，還適當(dāng)?shù)刂付〝?shù)據(jù)類型(是測定信息的數(shù)據(jù)種類，例如有氣體流量、溫度、壓力等)、制造裝置標(biāo)識符、配方標(biāo)識符中的一個以上的信息等信息。通常來i兌，翁:據(jù)類型是必需的。另外，也可以對圖10的畫面僅輸入數(shù)據(jù)類型的信息。對于圖9的畫面，可以僅輸入數(shù)據(jù)類型、制造裝置標(biāo)識符，也可以僅輸入數(shù)據(jù)類型、配方標(biāo)識符。另夕卜，假定當(dāng)選中"累計圖表"的復(fù)選框104時，作為各測定信息的值，將用圖表輸出從配方步驟開始時起到得到該測定信息為止的所有測定信息的值的累計值。圖10中，輸入了區(qū)域101及區(qū)域102的配方步驟標(biāo)識符"001"及有效時間(分鐘)"20"、數(shù)據(jù)類型"氣體流量"、制造裝置標(biāo)識符"E1"、配方標(biāo)識符"R1"。所以，該狀態(tài)下，如果用戶按下"圖表輸出"按鈕，則指示輸入部1301就會接收輸出"氣體流量"的測定信息(例如圖8所示的信息)當(dāng)中的符合"對象配方步驟-001"且"有效時間=20分鐘"且"制造裝置標(biāo)識符-El"且"配方標(biāo)識符-Rl"的！Hf的測定信息的輸出指示。而且，該輸出指示的例子例如為"圖表輸出配方步驟標(biāo)識符- '001，，有效時間='20，，數(shù)據(jù)類型='氣體流量，，制造裝置標(biāo)識符='E1',配方標(biāo)識符='R1，"。
然后，指示發(fā)送部1302向服務(wù)器裝置12發(fā)送輸出指示"圖表輸出配方步驟標(biāo)識符='001，，有效時間='20，，數(shù)據(jù)類型='氣體流量，，制造裝置標(biāo)識符='E1，，配方標(biāo)識符='R1，"。此后，服務(wù)器裝置12的指示接收部1205接收輸出指示"圖表輸出配 方步驟標(biāo)識符='001，，有效時間='20，，數(shù)據(jù)類型='氣體流量，，制造 裝置標(biāo)識符='E1'，配方標(biāo)識符='R1，"。
然后，服務(wù)器裝置12的測定信息取得部1203從保存于測定信息* 部1201中的測定信息中，檢索、取得符合輸出指示"圖表輸出配方步驟 標(biāo)識符='001，，有效時間='20，，數(shù)據(jù)類型='氣體流量，，制造裝置標(biāo) 識符='E1'，配方標(biāo)識符='R1'"的測定信息。具體來說，測定信息取 得部1203將以下起點設(shè)定為作為配方步驟標(biāo)識符"001"的開始時刻的 "2005/12/02 15: 00: 00"，該起點是由圖9的測定信息管理表管理的氣體 流量的測定信息的、制造裝置標(biāo)識符為"E1"、配方標(biāo)識符為"R1"的數(shù) 據(jù)中的起點，將終點設(shè)定為作為從該起點起經(jīng)過作為有效時間的20分鐘后 的時間的"2005/12/02 15: 20: 00"。此后，從包含作為配方步驟標(biāo)識符"001" 的測定信息的起點的"2005/12/02 15: 00: 00"的測定信息起，依次取得 測定信息。此后，在取得了作為終點的"2005/12/02 15: 20: 00"的測定 信息的時間點，結(jié)束測定信息的取得。這樣就取得上述的起點與終點之間 的期間內(nèi)所包含的所有測定信息。此后，測定信息取得部1203得到圖11 的信息。而且，既可以取得終點的測定信息，也可以不取得。
然后，服務(wù)器裝置12的異常檢測部1210從測定信息取得部1203中 取得如圖11所示的測定信息，并且從條件信息保存部1209中讀出條件信 息"260<氣體流量<280"，使用該條件信息，檢測圖ll的測定信息的異 常。例如由于圖11的測定信息的所有"平均值"都小于260，因此被判斷 為異常值。
然后，輸出信息構(gòu)成部1206使用測定信息取得部1203所取得的圖11 的信息、異常檢測部1210的判斷結(jié)果，構(gòu)成作為輸出信息的圖表。本圖表 是橫軸為時刻信息所表示的時刻、縱軸為值(氣體流量的平均值)的折線 圖。
然后，輸出部1207將輸出信息構(gòu)成部1206所構(gòu)成的折線圖向客戶裝 置13發(fā)送。
然后，客戶裝置13的接收部1303接收該折線圖，顯示部1304如圖 12所示那樣將折線圖顯示于顯示器上。圖12中，用斜線來表示正常范圍。
然后，如圖13所示，假定在圖IO所示的輸入例中，將氣體流量M 設(shè)定為"250"以上，另外，選中"累計圖表"的復(fù)選框104。該狀況下，
34如果用戶按下"圖表輸出"g，則指示輸入部1301接收輸出"氣體流量" 的測定信息(例如圖8所示的信息)當(dāng)中的符合"對象配方步驟=001"且 "有效時間=20分鐘"且"氣體流量條件=250"且"圖表輸出=累計"且"制 造裝置標(biāo)識符-El"且"配方標(biāo)識符=111"的條件的測定信息的輸出指示。 另外，該輸出指示的例子例如為"圖表輸出配方步驟標(biāo)識符='001，， 有效時間='20，，氣體流量#^= '250，，數(shù)據(jù)類型='氣體流量，，圖表 輸出='累計，，制造裝置標(biāo)識符='El，，配方標(biāo)識符='R1，"。此外，假 定在選中了 "累計圖表，，的復(fù)選框104的情況下，在這里不進行利用異常 檢測部1210進行異常檢測的處理。
然后，指示發(fā)送部1302將該輸出指示向服務(wù)器裝置12發(fā)送。此后， 服務(wù)器裝置12的指示接收部1205接收該輸出指示。
然后，服務(wù)器裝置12的測定信息取得部1203從保存于測定信息保存 部1201中的測定信息中檢索并取得符合輸出指示"圖表輸出配方步驟標(biāo) 識符='001，，有效時間='20',氣體流量條件='250，，數(shù)據(jù)類型- '氣 體流量，，圖表輸出='累計，，制造裝置標(biāo)識符='E1，，配方標(biāo)識符='R1，" 的測定信息。具體來說，異常檢測部1210的第一測定信息取得機構(gòu)12031 從利用圖8的測定信息管理表管理的氣體流量的測定信息的、制造裝置標(biāo) 識符為"E1"、配方標(biāo)識符為"R1"的數(shù)據(jù)當(dāng)中的、作為配方步驟標(biāo)識符 "001"的開始時刻的"2005/12/02 15: 00: 00"起，依次取得測定信息。 此后，判斷該測定信息的"平均值"是否為作為氣體流量務(wù)fr的"250"以 上。此后，在為"250"以上的情況下，有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)12032 以該測定信息作為起點，沿著時間軸進行測定信息的取得。這里，由于"時 刻信息"為"2005/12/02 15: 03: 00"的測定信息的"平均值"為"251"， 在"250"以上，因此從該測定信息起開始測定信息的取得。但是，在這里， 由于在輸出指示中包含"圖表輸出='累計，"，因此有效時間內(nèi)測定信息 取得W^ 12032算出從配方步驟標(biāo)識符"001"的配方步驟的開始時間點起 的"平均值"的累計值，將該累計值取為測定信息的值。此后，在以下任 意一種情況下，即，在所取得的測定信息小于作為氣體流量務(wù)fr的"250" 的情況下，在配方步驟標(biāo)識符"001"的配方步驟內(nèi)的信息消失的情況下， 以;Ma是對應(yīng)于從作為開始取得的測定信息的"時刻信息"的"2005/12/02 15: 03: 00"起經(jīng)過了作為有效時間的"20分鐘，，的時刻"2005/12/02 15: 23: 00"的測定信息的情況下，結(jié)束測定信息的取得。這里，假定氣體流 量在時刻"2005/12/02 15: 03: 00"以后至?xí)r刻"2005/12/02 15: 23: 00"都小于"250"，則取得至作為有效時間的結(jié)束時間點的時刻"2005/12/02 15: 23: 00"為止的測定信息。此后，測定信息取」彈部1203得到圖14的信息。 另外，既可以取得終點的測定信息，也可以不取得。
然后，輸出信息構(gòu)成部1206使用測定信息取得部1203所取得的圖14 的信息來構(gòu)成作為輸出信息的圖表。本圖表是橫軸為時刻信息所表示的時 刻、縱軸為值(氣體流量的平均值)的折線圖。
然后，輸出部1207將輸出信息構(gòu)成部1206所構(gòu)成的折線圖向客戶裝 置13發(fā)送。
客戶裝置13的接收部1303接收該折線圖，顯示部1304如圖15所示 那樣將折線圖顯示于顯示器上。
以上，根據(jù)本實施方式，可以輸出由以下輸出指示指定的從規(guī)^點 起的有效時間所表示的時間內(nèi)的測定信息，可以詳細地確定測定信息的監(jiān) 視對象期間，該輸出指示包含確定規(guī)定起點的信息和作為取得測定信息的 時間的有效時間的信息。這樣，可以瞬間僅提示必要的信息，可以有效地 進行包括制造裝置等的異常檢測的監(jiān)視。更具體來說，可以設(shè)定出配方步 驟內(nèi)的更小期間，從而提高便利性，并且不會輸出不需要的信息，可以消 除錯誤地監(jiān)視不同期間的測定信息這樣的差錯，進行精度高的異常檢測 等。
而且，本實施方式中，所輸出的圖表也可以如圖16所示，是如下的 SPC圖表，即，是從測定信息絲部1201中讀出符合作為輸出SPC圖表 的指示的輸出指示的多個測定信息，利用所讀出的該測定信息構(gòu)成的，是 能夠在視覺上區(qū)別與每個制造裝置標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息、或與每個配方 標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息、或這兩者的樣式的圖表，是依照一種測定信息具 有的時刻信息所表示的時刻的順序，描繪所讀出的多個測定信息而得到的 圖表。圖16所示的SPC圖表例如是由一個制造裝置標(biāo)識符的測定信息構(gòu) 成的SPC圖表。另外，圖16所示的SPC圖表中，輸出有管理值(上限) 及管理值(下限)。在成為該管理值之外的值的情況下，表明屬于異常。 管理值(上限)及管理值(下限)被預(yù)先保持在條件信息M部1209中。 圖16中所用的測定信息等是為了說明而準(zhǔn)備的測定信息，與本實施方式中 所i兌明的測定信息不同。
另外，本實施方式中，所輸出的圖表也可以如圖17所示，是如下的 相關(guān)圖表，即，是從測定信息M部1201中讀出符合作為輸出相關(guān)圖表的
36指示的輸出指示的多個測定信息，利用所讀出的該測定信息構(gòu)成的，是能 夠在視覺上區(qū)別與每個制造裝置標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息、或與每個配方標(biāo) 識符對應(yīng)的測定信息、或這兩者的樣式的圖表，是表示兩種測定信息(例
如溫度和壓力等)的相關(guān)的圖表。圖17所示的相關(guān)圖表例如是由一個制造 裝置標(biāo)識符的兩種測定信息構(gòu)成的相關(guān)圖表。另外，圖17所示的相關(guān)圖表 中，輸出有兩個管理值。在成為這兩個管理值的范圍之外的值的情況下， 表明屬于異常。而且，圖17中所用的測定信息等是為了說明而準(zhǔn)備的測定 信息，與本實施方式中所說明的測定信息不同。
另外，本實施方式中，所輸出的圖表也可以如圖18所示，是如下的 MD (Mahalanobis距離)圖表，即，是從測定信息保存部1201中讀出具 有作為輸出MD圖表的指示的輸出指示所包含的一個以上制造裝置標(biāo)識符 的任意一個、或一個以上配方標(biāo)識符的任意一個、或者一個以上制造裝置 標(biāo)識符的任意一個及一個以上配方標(biāo)識符的任意一個的多個測定信息，利 用所讀出的測定信息構(gòu)成的，是能夠在視覺上區(qū)別與每個制造裝置標(biāo)識符 對應(yīng)的測定信息、或與每個配方標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息、及這兩者的測定 信息的樣式的圖表，是表示三種以上測定信息(例如2個部位的溫度、氣 體流量和壓力)的相關(guān)的圖表。圖18所示的MD圖表例如是由一個制造 裝置標(biāo)識符的測定信息構(gòu)成的MD圖表。另外，圖18所示的MD圖表是 使用Mahalanobis距離進行例如異常判斷的圖表。更具體來說，圖18所 示的MD圖表是將正常時的數(shù)據(jù)進行模型化，使用Mahalanobis距離將異 常時的程度用數(shù)值表示的圖表。另外，圖18所示的MD圖表中，輸出有 兩個管理值。在成為這兩個管理值的范圍之外的值的情況下，表明是異常。 而且，圖18中所用的測定信息等是為了說明而準(zhǔn)備的測定信息，與本實施 方式中所說明的測定信息不同。
另外，本實施方式的具體例中，所輸出的圖表是顯示了一個制造裝置 標(biāo)識符或一個配方的測定信息的圖表，是依照一種測定信息具有的時刻信 息所表示的時刻的順序，連結(jié)所讀出的多個測定信息而得到的一個折線 圖。但是，所輸出的圖表也可以如圖19所示，是以下的圖表，即、是從測 定信息保存部1201中讀出具有輸出指示所包含的三個制造裝置標(biāo)識符的 多個測定信息，利用所讀出的該測定信息構(gòu)成的，是能夠在視覺上區(qū)別與 每個制造裝置標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息的樣式的圖表，是依照一種測定信息 具有的時刻信息所表示的時刻的順序，描繪所讀出的多個測定信息而成的 三個圖表。該情況下，輸出指示例如包括"裝置A"、"裝置B"、"裝置C"三個制造裝置標(biāo)識符。此后，測定信息取得部1203將"裝置A"、"裝置B"、 "裝置C"分別作為關(guān)鍵值，3次檢索測定信息M部1201, 3次取得測定 信息，輸出信息構(gòu)成部1206按各個關(guān)鍵值，分別構(gòu)成不同的點、線的屬性 值的圖表，得到3個圖表。這樣就輸出3個圖表。而且，圖19中所用的測 定信息等是為了說明而準(zhǔn)備的測定信息，與本實施方式中所說明的測定信 息不同。
本實施方式中，由于可以如上所述那樣自由選擇3個以上的圖表(SPC 圖表、相關(guān)圖表、MD圖表等)的顯示形態(tài)，因此能夠從各個角度來進行 監(jiān)視，進行監(jiān)視結(jié)果的分析。
另外，本實施方式的具體例中，初始信息和測定信息也可以預(yù)先由服 務(wù)器裝置12保持。該情況下，初始信息或測定信息利用未圖示的機構(gòu)從制 造裝置11取得，經(jīng)由記錄介質(zhì)等轉(zhuǎn)交給服務(wù)器裝置12。
另外，本實施方式中，最好用戶輸入將所關(guān)注的圖表的一部分放大的 指示，改變該圖表的一部分的比例尺(改變測定信息的時間間隔、步驟的 間隔)來進行圖表輸出。
另外，本實施方式中，初始信息與測定信息也可以;l相同構(gòu)成。該情 況下就不需要測定信息存儲部。
另外，本實施方式中，不是必須在制造裝置與服務(wù)器裝置之間^初 始信息。初始信息例如也可以是經(jīng)由記錄^h質(zhì)從制造裝置提供給服務(wù)器裝 置。
另外，本實施方式中，群管理系統(tǒng)也可以不具有客戶裝置13。該情況 下，用戶向服務(wù)器裝置12輸入輸出指示等指示。
另外，在本實施方式的具體例中，雖然是指定制造裝置標(biāo)識符或配方 標(biāo)識符來輸出圖表，然而也可以指定一個以上制造裝置標(biāo)識符及一個以上 配方標(biāo)識符來輸出圖表。在用戶輸入了包括一個以上制造裝置標(biāo)識符及一 個以上配方標(biāo)識符的輸出指定的情況下，異常檢測部1210將所指定的一個 以上的各制造裝置標(biāo)識符及一個以上的各配方標(biāo)識符分別作為關(guān)鍵值來 檢索測定信息(或初始信息)，檢測異常，輸出信息構(gòu)成部1206構(gòu)成圖表。
另外，本實施方式中，在制造裝置是每當(dāng)取得初始信息時就逐個地向 服務(wù)器裝置12發(fā)送的構(gòu)成的情況下，最好是，將服務(wù)器裝置的指示接收部 接收到輸出指示作為觸發(fā)，實時地進行>^規(guī)^點起的有效時間的信息所表示的時間內(nèi)的測定信息的取得、異常檢測處理，每當(dāng)接收到初始信息時 就更新輸出信息(圖表等)。這是因為，用戶可以立即知道異常的產(chǎn)生。
而且，該實時的異常檢測是以下的處理。即，異常檢測部針對測定信息取 得部一個接一個地取得的、從規(guī)定起點起的有效時間的信息所表示的時間
內(nèi)的測定信息，立即判斷是否符合M信息，輸出信息構(gòu)成部一個接一個 地構(gòu)成使用了異常檢測部的判斷結(jié)果的輸出信息，輸出部邊更新邊輸出輸
出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的輸出信息。
另外，本實施方式的處理也可以利用軟件來實現(xiàn)。此外，也可以利用
軟件下載等來分發(fā)該軟件。另外，也可以將該軟件記錄于CD-ROM等記 錄介質(zhì)中來lt播。而且，本實施方式中的實現(xiàn)服務(wù)器裝置的軟件是如下所 示的程序。也就是說，該程序是用于使計算機執(zhí)行如下的步驟的程序，即， 指示接收步驟，接收測定信息的輸出指示，該測定信息在測定信息保存部 中衫LM了多個，包括確定規(guī)定起點的信息和作為取得所述測定信息的時 間的有效時間的信息，是針對用對被處理^L進行規(guī)定處理的一個以上制 造裝置測定的信息的時間序列的信息，是具有用所述制造裝置執(zhí)行規(guī)定處 理時的測定值和表示時刻的時刻信息的信息；測定信息取得步驟，從所述 測定信息保存部中取得從所述規(guī)定起點起在所述有效時間的信息所表示 的時間內(nèi)的測定信息；輸出信息構(gòu)成步驟，構(gòu)成使用了所取得的所述測定 信息的輸出信息；以及輸出步驟，輸出在所述輸出信息構(gòu)成步驟中構(gòu)成的 輸出信息。
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，在所述輸出信息構(gòu)成步驟 中使用所取得的所述測定信息來構(gòu)成作為輸出信息的圖表，在所述輸出步 驟中輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的圖表。
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，所述規(guī)定起點是配方所具 有的規(guī)定配方步驟的開始時間點，所述測定信息具有識別配方步驟的配方 步驟標(biāo)識符，所述輸出指示包括配方步驟標(biāo)識符、所述有效時間的信息， 在所述測定信息取得步驟中取得如下的測定信息，該測定信息是與所述輸 出指示所具有的配方步驟標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息，是從利用該配方步驟標(biāo) 識符識別的配方步驟的開始時間點起在所述有效時間的信息所表示的時 間內(nèi)的測定信息。
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，在所述測定信息取得步驟 中取得到所述有效時間的結(jié)束時、或利用所述配方步驟標(biāo)識符識別的配方步驟的結(jié)束時當(dāng)中的較早一方為止的測定信息。
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，所述規(guī)定起點是符合與測 定信息相關(guān)的條件的時間點，所述輸出指示包括與測定信息相關(guān)的務(wù)泮、
所述有效時間的信皋，所述測定信息取得步驟具備第一測定信息取得步 驟，取得最先符合所述與測定信息相關(guān)的條件的測定信息；有效時間內(nèi)測 定信息取得步驟，取得從所述第一測定信息取得M取得了最初的測定信 息的時間點起、所述有效時間內(nèi)的測定信息。
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，在測定信息取得步驟中取 得到所述有效時間的結(jié)束時、和有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)所取得的測 定信息不滿足所述與測定信息相關(guān)的條件時當(dāng)中的較早一方為止的測定 信息。
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，所述規(guī)^點是配方所具 有的規(guī)定配方步驟內(nèi)的符合與測定信息相關(guān)的條件的時間點，所述測定信 息具有識別配方步驟的配方步驟標(biāo)識符，所述輸出指示包括配方步驟標(biāo)識 符、與測定信息相關(guān)的條件、所述有效時間的信息，所述測定信息取得步 驟具備第一測定信息取得步驟，取得測定信息，該測定信息是與所述輸 出指示所具有的配方步驟標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息，是最先符合所述與測定 信息相關(guān)的條件的測定信息；有效時間內(nèi)測定信息取得步驟，取得從所述 第一測定信息取得機構(gòu)取得了最初的測定信息的時間點起、所述有效時間 的信息所表示的時間內(nèi)的測定信息。
另外，是如下的程序，即，在上述程序中，在所述有效時間內(nèi)測定信 息取得步驟中取得到所述有效時間結(jié)束時、用所述配方步驟標(biāo)識符識別的 配方步驟結(jié)束時、和所取得的測定信息不滿足所述與測定值相關(guān)的條件時 當(dāng)中的較_早一方為止的測定信息。
而且，在上述程序中，在發(fā)送信息的步驟、接收信息的步驟等中， 不包括利用硬件進行的處理，例如進行發(fā)送的步驟中利用調(diào)制解調(diào)器和 接口卡等進行的處理(只能利用硬件進行的處理)。
另外，執(zhí)行上述程序的計算機既可以是單個，也可以是多個。即， 既可以進行集中處理，也可以進行分散處理。
而且，上述各實施方式中，各處理(各功能)既可以利用單一的裝 置(系統(tǒng))進行集中處理而實現(xiàn)，也可以利用多個裝置進行分散處理來實現(xiàn)。
另外，上述各實施方式中，存在于一個裝置中的兩個以上的通信機構(gòu) (初始信息接收部和輸出部等)當(dāng)然也可以在物理上利用一個介質(zhì)來實 現(xiàn)。
本發(fā)明并不限定于以上的實施方式，可以進行各種變更，它們當(dāng)然也
包含于;^發(fā)明的范圍內(nèi)。 產(chǎn)業(yè)可利用性
如上所述，本發(fā)明的服務(wù)器裝置等適于用作具備對被處理J41進行規(guī) 定處理的一個以上制造裝置、與該一個以上制造裝置連接的服務(wù)器裝置的 群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置等，特別是作為取得并輸出在配方步驟等中取得 的測定信息等的服務(wù)器裝置來說是有用的。
權(quán)利要求
1.一種服務(wù)器裝置，是構(gòu)成群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置，該群管理系統(tǒng)具備對被處理基板進行規(guī)定處理的一個以上制造裝置、和與該一個以上制造裝置連接的服務(wù)器裝置，并具有進行異常檢測的功能，該服務(wù)器裝置具備測定信息保存部，可保存多個測定信息，該測定信息是由所述一個以上制造裝置測定的信息的時間序列的信息，是具有由所述制造裝置執(zhí)行了規(guī)定處理時的測定值和表示時刻的時刻信息的信息；指示接收部，接收所述測定信息的輸出指示，該輸出指示包括確定規(guī)定起點的信息和作為取得所述測定信息的時間的有效時間的信息；測定信息取得部，從所述測定信息保存部中取得從所述規(guī)定起點起、在所述有效時間的信息所表示的時間內(nèi)的測定信息；輸出信息構(gòu)成部，構(gòu)成使用了所取得的所述測定信息的輸出信息；以及輸出部，輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的輸出信息。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述輸出信息構(gòu) 成部使用所取得的所述測定信息來構(gòu)成作為輸出信息的圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的圖表。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述規(guī)^點是 配方所具有的規(guī)定配方步驟的開始時間點，所述測定信息具有識別配方步驟的配方步驟標(biāo)識符，所述輸出指示包含配方步驟標(biāo)識符、所述有效時間的信息，所述測定信息取得部取得以下測定信息，該測定信息是與所述輸出指 示所具有的配方步驟標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息，是從利用該配方步驟標(biāo)識符 識別的配方步驟的開始時間點起、在所述有效時間的信息所表示的時間內(nèi) 的測定信息。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述測定信息取 得部取得到所述有效時間結(jié)束時、和利用所述配方步驟標(biāo)識符識別的配方 步驟結(jié)束時當(dāng)中的較早一方為止的測定信息。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述規(guī)^點是 符合與測定信息相關(guān)的條件的時間點，所述輸出指示包含與測定信息相關(guān)的條件、所述有效時間的信息，所述測定信息取得部具備第 一測定信息取得機構(gòu)，取得最先符合所述與測定信息相關(guān)的條件的 測定信息；以及有效時間內(nèi)測定信息取得;W^ ，取得從所述第一測定信息取得^取 得了最初的測定信息的時間點起、在所述有效時間內(nèi)的測定信息。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，測定信息取得部 取得到所述有效時間結(jié)束時、和有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)所取得的測 定信息不滿足所述與測定信息相關(guān)的條件時當(dāng)中的較早一方為止的測定
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述規(guī)^點是 配方所具有的規(guī)定配方步驟內(nèi)的符合與測定信息相關(guān)的條件的時間點，所述測定信息具有識別配方步驟的配方步驟標(biāo)識符，所述輸出指示包含配方步驟標(biāo)識符、與測定信息相關(guān)的條件、和所述 有效時間的信息，所述測定信息取得部具備第一測定信息取得^，取得以下測定信息，該測定信息是與所述輸 出指示所具有的配方步驟標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息，是最先符合所述與測定 信息相關(guān)的條件的測定信息；有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)，取得從所述第一測定信息取得機構(gòu)取 得了最初的測定信息的時間點起、在所述有效時間的信息所表示的時間內(nèi) 的測定信息。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述有效時間內(nèi) 測定信息取得^J取得到所述有效時間結(jié)束時、利用所述配方步驟標(biāo)識符 識別的配方步驟結(jié)束時、和所取得的測定信息不滿足與所述測定值相關(guān)的M時當(dāng)中的較早一方為止的測定信息。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述輸出信息構(gòu) 成部使用所取得的所述測定信息進行規(guī)定運算，構(gòu)成使用了該運算結(jié)果的 輸出信息。
10. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，還具備條件信息M部，可*表示用于判斷所述測定信息是否異常的4Hf 的^Hf信息；和異常檢測部，判斷所述測定信息取得部所取得的測定信息是否符合所 述條件信息保存部所保存的條件信息；所述輸出信息構(gòu)成部構(gòu)成使用了所述異常檢測部的判斷結(jié)果的輸出 信息。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述輸出信息 構(gòu)成部構(gòu)成SPC圖表，該SPC圖表是依照該測定信息具有的時刻信息所 表示的時刻的順序，對所取得的所述測定信息進行描繪而得到的，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的SPC圖表。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述輸出信息 構(gòu)成部利用所取得的所述測定信息來構(gòu)成相關(guān)圖表，該相關(guān)圖表是表示兩 種測定信息的相關(guān)的圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的相關(guān)圖表。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的服務(wù)器裝置，其特征在于，所述輸出信息 構(gòu)成部利用所取得的所述測定信息來構(gòu)成MD (Mahalanobis距離)圖表， 該MD圖表是表示三種以上的測定信息的相關(guān)的圖表，所述輸出部輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的MD圖表。
14. 一種程序，用于使計算機執(zhí)行以下步驟指示接收步驟，接收測定信息的輸出指示，該測定信息在測定信息保 存部中被保存了多個，包括確定規(guī)^點的信息和作為取得所述測定信息的時間的有效時間的信息，是由對被處理141進行規(guī)定處理的一個以上制 造裝置測定的信息的時間序列的信息，是具有由所述制造裝置執(zhí)行規(guī)定處理時的測定值和表示時刻的時刻信息的信息；測定信息取得步驟，從所述測定信息保存部中取得從所述規(guī)定起點 起、在所述有效時間的信息所表示的時間內(nèi)的測定信息；輸出信息構(gòu)成步驟，構(gòu)成使用了所取得的所述測定信息的輸出信息；以及輸出步驟，輸出在所述輸出信息構(gòu)成步驟中構(gòu)成的輸出信息。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的程序，其特征在于，所述輸出信息構(gòu)成步 驟使用所取得的所述測定信息來構(gòu)成作為輸出信息的圖表，所述輸出步驟輸出所述輸出信息構(gòu)成部所構(gòu)成的圖表。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的程序，其特征在于，所述規(guī)定起點是配方 所具有的規(guī)定配方步驟的開始時間點，所述測定信息具有識別配方步驟的配方步驟標(biāo)識符，所述輸出指示包含配方步驟標(biāo)識符、所述有效時間的信息，所述測定信息取得步驟取得以下測定信息，該測定信息是與所述輸出 指示所具有的配方步驟標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息，；l從利用該配方步驟標(biāo)識 符識別的配方步驟的開始時間點起、在所述有效時間的信息所表示的時間 內(nèi)的測定信息。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的程序，其特征在于，所述測定信息取得步 驟取得到所述有效時間結(jié)束時、和利用所述配方步驟標(biāo)識符識別的配方步 驟結(jié)束時當(dāng)中的較早一方為止的測定信息。
18. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的程序，其特征在于，所述規(guī)定起點是符合 與測定信息相關(guān)的務(wù)降的時間點，所述輸出指示包含與測定信息相關(guān)的條件、所述有效時間的信息，所述測定信息取得步驟具備第一測定信息取得步驟，取得最先符合所述與測定信息相關(guān)的條件的 測定信息，以及有效時間內(nèi)測定信息取得步驟，取得從所述第一測定信息取得機構(gòu)取得了最初的測定信息的時間點起、在所述有效時間內(nèi)的測定信息。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的程序，其特征在于，測定信息取得步驟取 得到所述有效時間結(jié)束時、和有效時間內(nèi)測定信息取得機構(gòu)所取得的測定 信息不滿足所述與測定信息相關(guān)的條件時當(dāng)中的較早 一方為止的測定信 息。
20. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的程序，其特征在于，所述規(guī)定起點是配方 所具有的規(guī)定配方步驟內(nèi)的符合與測定信息相關(guān)的條件的時間點，所述測定信息具有識別配方步驟的配方步驟標(biāo)識符，所述輸出指示包含配方步驟標(biāo)識符、與測定信息相關(guān)的條件、所述有 效時間的信息，所述測定信息取得步驟具備第一測定信息取得步驟，取得以下測定信息，該測定信息是與所述輸 出指示所具有的配方步驟標(biāo)識符對應(yīng)的測定信息，是最先符合所述與測定 信息相關(guān)的條件的測定信息；以及有效時間內(nèi)測定信息取得步驟，取得從所述第一測定信息取得機構(gòu)取 得了最初的測定信息的時間點起、在所述有效時間的信息所表示的時間內(nèi) 的測定信息。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的程序，其特征在于，所述有效時間內(nèi)測定 信息取得步驟取得到所述有效時間結(jié)束時、利用所述配方步驟標(biāo)識符識別 的配方步驟結(jié)束時、和所取得的測定信息不滿足與所述測定值相關(guān)的IHf 時當(dāng)中的較早一方為止的測定信息。
全文摘要
以往的服務(wù)器裝置中，存在無法恰當(dāng)?shù)刂付ㄊ箿y定信息成為輸出對象的期間的問題。本發(fā)明提供一種服務(wù)器裝置，是構(gòu)成具備對被處理基板進行規(guī)定處理的一個以上制造裝置(11)的群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置(12)，其具備測定信息保存部(1201)，其能夠保存多個測定信息，該測定信息是具有由一個以上制造裝置(11)執(zhí)行了規(guī)定處理時的測定值和表示時刻的時刻信息的時間序列的信息；指示接收部(1205)，其接收包括確定規(guī)定起點的信息和有效時間的信息的測定信息的輸出指示；測定信息取得部(1203)，其從測定信息保存部(1201)中取得從規(guī)定起點起在有效時間內(nèi)的測定信息；輸出信息構(gòu)成部(1206)，其構(gòu)成使用了所取得的測定信息的輸出信息；輸出部(1207)，其輸出輸出信息構(gòu)成部(1206)所構(gòu)成的輸出信息。
文檔編號H01L21/66GK101495928SQ20078002818
公開日2009年7月29日 申請日期2007年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月1日
發(fā)明者小山典昭, 小幡穣, 高橋禮 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社