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技術(shù)編號：6887594

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本發(fā)明涉及一種具有P溝道型溝槽功率MOS (Metal Oxide Semiconductor 金屬氧化物半導(dǎo)體)晶體管和表層溝道MOS (Metal Oxide Semiconductor金 屬氧化物半導(dǎo)體)晶體管的功率IC (Integrated Circuit集成電路)器件。詳細來說，本發(fā)明涉及一種功率IC器件及其制造方法，該功率IC器件是由在同一芯片內(nèi)形成有P溝道型溝槽功率MOS (Metal Oxide Semiconductor)晶體管和用于控...
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