技術(shù)編號(hào)：6886154
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分的設(shè)備。 本發(fā)明還涉及光學(xué)儀器和半導(dǎo)體加工系統(tǒng)。背景技術(shù)第一段所指的裝置眾所周知。支撐單元通常容納諸如攝像機(jī)攝像 機(jī)之類的透鏡組合。此設(shè)備通常通過其框架安裝到某種類型的顯微儀 器上，該儀器容納要檢查或要觀察的目標(biāo)。通常，目標(biāo)也能借助相對(duì) 于設(shè)備平移或旋轉(zhuǎn)的某種類型載物臺(tái)的方式移動(dòng)。圖1為根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的顯微或光學(xué)儀器的示意圖。首先示出了要檢查的目標(biāo)1。將用于光學(xué)地對(duì)準(zhǔn)光學(xué)裝置和目標(biāo)的已知設(shè)備2放置 在目標(biāo)之上，所述設(shè)備包括支...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。