技術編號：6871071
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導體制造行業(yè)使用的設備，特別是一種氮氣保護裝置。背景技術氮氣保護罩(N2 shield)是半導體制造過程中的一種常用設備，其結 構一般如圖1和圖2所示，包括蓋板3、多根排氣管2和多根進氣管1， 蓋板3覆蓋在排氣管2上，進氣管1穿入排氣管2中并和排氣管2通過螺 絲4連接，排氣管2上開有密集的小孔。工作時，大量氮氣從進氣管1 進入排氣管2，然后從排氣管2上的小孔中排出形成氣簾。工作氣體，如 SiH4和02，可以在氣簾和蓋板包圍的空間中進行工作，...
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