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半導(dǎo)體器件及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6869691

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本發(fā)明涉及具有包含薄膜晶體管(此后稱之為TFT)的電路的半導(dǎo)體器件。例如,涉及可以具體化為液晶顯示器件或EL顯示器件和使用半導(dǎo)體電路以及本發(fā)明的電光器件或半導(dǎo)體電路的電子設(shè)備的電光器件結(jié)構(gòu)。由該說明書可知,半導(dǎo)體器件通常指代利用半導(dǎo)體性質(zhì)完成一定功能的器件,電光器件、半導(dǎo)體電路和電子設(shè)備都是半導(dǎo)體器件。薄膜晶體管(此后稱之為TFT)能制作在透明襯底上,由此有源矩陣型液晶顯示器件(此后稱之為AM-LCD)的應(yīng)用取得快速的進展。利用晶態(tài)半導(dǎo)體膜(通常為多晶硅)...
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