技術編號：6858103
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種基板移載定位裝置，尤指一種可將基板精確地進行X、Y軸方向定位的定位裝置。背景技術通常，在面板制造過程中，必須不斷地重復許多相同的制程，從前一制程到后一制程間需由技術人員將前制程加工后的面板，先裝入一面板卡匣內再以人工的方式送至后制程。在搬運的過程中，會因震動而導致面板在卡匣中的位置產生位移，加上該面板卡匣運送至后制程位置的過程中也會有微小的偏位，因此，在面板進入后制程時皆需以一機械手臂將該面板放置于一基板移載定位裝置上加以定位，接著再將定...
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