技術(shù)編號：6856737
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體元件及其制作方法，特別是涉及一種可以增加元件靈敏度的半導(dǎo)體元件、一種內(nèi)連線結(jié)構(gòu)，以及此二者各自的制作方法。背景技術(shù) 光二極管影像傳感器是目前常見的一種影像感測元件。典型的光二極管影像傳感器，至少包括一個(gè)重置晶體管(reset transistor)以及一個(gè)二極管所形成的光感測區(qū)。在現(xiàn)有技術(shù)中，通常會在晶體管的源極/漏極區(qū)與柵極上形成一層自行對準(zhǔn)金屬硅化物層(self-aligned silicide，salicide)。為了避免光感測區(qū)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。