技術(shù)編號(hào):6854581
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù) 光刻裝置是一種將所需圖案應(yīng)用于基底通常是基底靶部上的裝置。光刻裝置可以用于例如集成電路(ICs)的制造。在這種情況下,構(gòu)圖部件,或者可稱(chēng)為掩模或分劃板可以用于產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于IC一個(gè)單獨(dú)層的電路圖案,該圖案可以被傳送到基底(例如硅晶片)的靶部上(例如包括一部分,一個(gè)或者幾個(gè)管芯)。通常是通過(guò)成像在涂覆于基底上的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上來(lái)傳送圖案。一般地,單一的基底將包含相繼進(jìn)行構(gòu)圖的相鄰靶部的網(wǎng)格。已知的光刻裝置包括所謂的步進(jìn)器,其中...
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