技術(shù)編號：6853413
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種集成電路與半導(dǎo)體元件的裝置，且特別涉及一種制造具有納米尺寸的半導(dǎo)體元件的改良式工藝與其元件接面結(jié)構(gòu)。背景技術(shù) 尺寸縮小的集成電路(integrated circuit，IC)芯片設(shè)計已被采用以增加集成電路中的元件密度，因而能增加效能與降低IC成本。近代IC的內(nèi)存芯片，例如動態(tài)隨機(jī)存儲器(dynamic random access memory，DRAM)、靜態(tài)隨機(jī)存儲器(static random access memory，SRAM)與只讀...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。