技術編號：6852211
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種開關元件，特別是涉及一種薄膜晶體管開關元件及其制造方法。背景技術 底柵極型(bottom-gate type)薄膜晶體管元件目前已經(jīng)被廣泛地應用于薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)中。請參閱圖1，其顯示傳統(tǒng)的底柵極型薄膜晶體管結(jié)構100。此薄膜晶體管結(jié)構100包括一基板110、一柵極120、一絕緣層130、一通道層(channel layer)140、一歐姆接觸層150以及一源/漏極層160/170。隨著TFT-LCD的尺寸增加，包含薄膜...
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