技術(shù)編號：6851321
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備。更為具體地，本發(fā)明涉及用于在將卡盒加載于卡盒(cassette)支撐體之后控制其中承載晶片的卡盒的位置的器件。背景技術(shù) 半導(dǎo)體制造設(shè)備通常包括用于在晶片卡盒與其中處理晶片的處理室之間一個接一個地自動傳輸晶片的機械手。更為具體地，晶片卡盒具有用于分別容納晶片的狹槽，其晶片卡盒本身被加載于晶片卡盒支撐體上。通過機械手將每一個晶片從晶片卡盒的各狹槽中取出并傳送到處理室。一旦晶片被處理，則通過機械手將晶片從處理室移走，然后將其返還到晶片卡...
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