技術(shù)編號：6847494
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在排除內(nèi)部具有的處理單元對基板的影響的同時運(yùn)送基板的基板處理裝置。背景技術(shù) 現(xiàn)有技術(shù)中提出了一種基板處理裝置的方案，在基板制造工序中，沿基板的運(yùn)送路徑設(shè)置進(jìn)行一連串處理的處理單元，沿該運(yùn)送路徑運(yùn)送基板，同時由那些處理單元進(jìn)行處理。例如，專利文獻(xiàn)1記載著這種基板處理裝置。在專利文獻(xiàn)1中記載的基板處理裝置中，基板的運(yùn)送路徑僅一個，全部基板都用相同的路徑運(yùn)送。因而，即使是想排除運(yùn)送路徑上的特定處理單元進(jìn)行的處理的基板(不進(jìn)行該處理的基板)，也必須運(yùn)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。