技術(shù)編號(hào)：6847376
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)中使用的高純度、低顆粒鹽酸的新型工業(yè)生產(chǎn)方法。由首先氯氣電解，接著燃燒氯氣和氫氣生產(chǎn)的氯化氫氣體通常含有很難(如果能除去的話)從氯化氫氣體中除去的雜質(zhì)(原文如此)。這些雜質(zhì)例如包含砷、溴和揮發(fā)性有機(jī)雜質(zhì)。即使將氯化氫通入水中，然后將鹽酸進(jìn)行絕熱蒸餾，也很難除去這些雜質(zhì)。已知的是根據(jù)下列不同方法生產(chǎn)大體上高純度的鹽酸1.蒸餾20％的鹽酸2.蒸餾氯化氫含量大于20的鹽酸，接著用20％的鹽酸餾出液吸收釋放出的氯化氫3.由壓縮氣瓶或一個(gè)輸送...
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