技術(shù)編號：6846465
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大致上系關(guān)于半導(dǎo)體技術(shù)，且更特別的是關(guān)于半導(dǎo)體裝置之硅化(siliciding)。背景技術(shù) 現(xiàn)代生活的各方面幾乎都用到電子產(chǎn)品，而電子產(chǎn)品的核心就是集成電路。從飛機(jī)、電視到腕表的每樣?xùn)|西都會用到不少集成電路。集成電路制造于硅晶圓內(nèi)及上，系藉由極其復(fù)雜的系統(tǒng)產(chǎn)生，該系統(tǒng)需要數(shù)百或甚至數(shù)千個(gè)精密控制的制程的協(xié)調(diào)。每一個(gè)制成的半導(dǎo)體晶圓具有數(shù)百至數(shù)萬個(gè)集成電路，各值數(shù)百或數(shù)千美元。集成電路系由數(shù)百至數(shù)百萬個(gè)個(gè)別的組件組成。半導(dǎo)體晶體管為常見組件之一。目前最...
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