技術(shù)編號：6846282
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及具有縱型柵極的半導(dǎo)體裝置及其制造方法。背景技術(shù) 近年來，隨著電子器械的低耗電化、高功能化及高速化，也要求附屬于該器械的半導(dǎo)體裝置的低耗電化及高速化等。為了響應(yīng)這些要求，還要求一般在電子器械的DC-DC轉(zhuǎn)換器中使用的半導(dǎo)體裝置具有晶體管的接通電阻較小的特性。作為用以降低晶體管的接通電阻的方法之一，存在有將在每單位面積布置的晶體管密度增大的方法。具體地說，存在有在縱方向(垂直于襯底主面的方向)上布置半導(dǎo)體裝置的柵極電極的方法。應(yīng)用該方法的半導(dǎo)體裝置為...
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