技術(shù)編號(hào)：6843426
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于使工件支承物對(duì)準(zhǔn)制造集成電路的工具的方法和設(shè)備。 背景技術(shù) Axcelis Technologies，本發(fā)明的受讓人，銷售用于在IC制造期間處理硅晶片的產(chǎn)品。一個(gè)這樣的產(chǎn)品或工具以名稱HE-3被銷售。所述工具產(chǎn)生離子束，該離子束修改放置到離子束中的晶片的物理性質(zhì)。這種工藝舉例來(lái)說(shuō)可用于摻雜硅，其中未被處理的晶片由硅制成，以產(chǎn)生半導(dǎo)體材料。在離子注入之前通過(guò)用抗蝕劑材料掩蓋(mask)進(jìn)行的受控使用以及在晶片內(nèi)不同摻雜劑圖樣的分層產(chǎn)生用在無(wú)數(shù)應(yīng)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。