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Cmos組件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6836830

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本實(shí)用新型涉及一種CMOS組件,特別涉及一種利用局部機(jī)械應(yīng)力控制(local mechanical-stress control,簡(jiǎn)稱LMC)來(lái)增加CMOS組件的效能的結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)在目前的半導(dǎo)體組件中,是使用硅整體(Si bulk)做為基底,并藉由縮小組件尺寸來(lái)達(dá)到高速操作和低耗電量的目的。然而,目前組件尺寸的縮小已接近物理的極限和成本的極限。因此,需要發(fā)展其它不同于縮小尺寸的方法的技術(shù),來(lái)達(dá)到高速操作和低耗電量的目的。因此,有人提出在晶體管的通道區(qū)利用...
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