技術(shù)編號：6835361
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及有機(jī)電致發(fā)光(下面叫EL)面板的制造方法、該有機(jī)EL面板的制造裝置及有機(jī)EL面板，尤其涉及可高精細(xì)地形成有機(jī)EL層的有機(jī)EL面板的制造方法、實(shí)施該制造方法的有機(jī)EL面板的制造裝置及用該制造裝置制造的有機(jī)EL面板。 背景技術(shù) 以往的全色有機(jī)EL顯示面板的制造方法中，在蒸鍍紅、綠、藍(lán)的發(fā)光層時，準(zhǔn)備3個用于蒸鍍對應(yīng)每個色的蒸鍍材料的真空室，在該真空室內(nèi)部使用比有機(jī)EL顯示面板面積大、厚度薄的金屬掩膜制造全色有機(jī)EL顯示面板。此外，以往的電致發(fā)光顯示裝...
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