技術(shù)編號(hào)：6831646
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光刻裝置和一種器件制造方法。背景技術(shù) 光刻裝置是一種將所需圖案應(yīng)用于基底的目標(biāo)部分的機(jī)器。光刻裝置可以用于例如集成電路(IC)的制造，平板顯示器以及包括精細(xì)結(jié)構(gòu)的其他器件。在常規(guī)的光刻裝置中，構(gòu)圖裝置，也可稱為掩模或中間掩模版，可用于產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于IC(或其他器件)一個(gè)單獨(dú)層的電路圖案，該圖案可以成像在已涂敷輻射敏感材料(抗蝕劑)層的基底(例如硅晶片或玻璃板)的目標(biāo)部分上(例如包括部分，一個(gè)或者多個(gè)管芯(die))。代替掩模，該構(gòu)圖裝置可以包括用...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。