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具有金剛石形金屬互連配置的半導體功率器件的制作方法技術資料下載

技術編號:6830952

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本發(fā)明一般涉及半導體器件,更具體地,涉及功率晶體管。背景技術 在橫向雙擴散金屬氧化物半導體(LDMOS)功率晶體管中,漏極和源極半導體區(qū)通常是形成在同一管芯表面上并在LDMOS晶體管管芯上延伸的集成的區(qū)域,鍵合焊盤設置在管芯周圍。最終的金屬半導體區(qū)橫跨漏極和源極半導體區(qū)從而將半導體區(qū)與各自的鍵合焊盤相連。由于一些電流必須流過漏極或源極區(qū)的長度,以到達鍵合焊盤,因此這樣的功率晶體管具有不需要的高導通電阻(RdsON)。降低功率晶體管的電阻(RdsON)的一種...
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