技術(shù)編號：6824807
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種具有材料層的和防擴散材料組分擴散的屏障層的層狀構(gòu)件以及制備防漫射材料組分擴散屏障的方法。一個經(jīng)常遇到的問題是在制造過程及生產(chǎn)過程中應(yīng)避免出現(xiàn)某種材料組分的不希望的擴散作用。通常采用的辦法是設(shè)置一種擴散屏障。特別是在半導(dǎo)體技術(shù)中，例如使用多種常見的材料層，這些材料層要求高溫中的制造或后處理步驟。例如具有高介電常數(shù)的鐵電材料或介電材料，如電容器內(nèi)的介電層或鐵電層。在這種特殊情況下，可用的材料為SBT SrBi2Ta2O9、SBTN SrBi2(T...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。